[发明专利]一种泛光照明模组的晶圆级封装结构及封装方法有效
| 申请号: | 201910497174.6 | 申请日: | 2019-06-10 |
| 公开(公告)号: | CN110190036B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
| 发明(设计)人: | 李卫士;杨超 | 申请(专利权)人: | 华天慧创科技(西安)有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/544;H01L21/56 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李鹏威 |
| 地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 泛光照明 模组 晶圆级 封装 结构 方法 | ||
1.一种泛光照明模组的晶圆级封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
一、提供一清洁基板,该基板具有至少一对定位标记;基板是陶瓷基板;
二、将多颗功能芯片通过贴片工艺集成到基板上;功能芯片为垂直腔面发射激光器、激光二极管或感光芯片;
三、采用引线键合工艺,实现功能芯片与基板表面之间通过金属线电性连接;
四、应用点胶工艺,在多颗功能芯片之间的基板表面涂覆胶层A;
五、使用光刻机,通过半导体背面对准方式,完成基板与间隔件的对准,对准后的间隔件下端与胶层A接触;锁住基板与间隔件,将胶层A固化,实现基板与间隔件的键合,间隔件的上端高于功能芯片;
六、应用点胶工艺,在步骤五中的间隔件上表面涂覆胶层B;
七、使用光刻机,通过背面对准方式,实现光学元器件与间隔件的对准,对准后的光学元器件下表面与胶层B接触;锁住光学元器件与间隔件,将胶层B固化,实现光学元器件与间隔件的键合;光学元器件设置在功能芯片上方,光学元器件的两端分别与功能芯片外围的间隔件顶端连接,光学元器件与间隔件共同形成一空腔结构,功能芯片位于空腔结构下方;光学元器件为晶圆级光学镜头或匀光片;光学元器件采用光刻机压印形成;
八、对步骤七形成的结构进行切割,获得单颗晶圆级泛光照明模组;
步骤四、步骤六中,通过滚胶工艺或丝网印刷工艺涂覆胶层A、胶层B;
所述步骤五、步骤七中,胶层A、胶层B的固化方式为UV固化、热固化或二者结合。
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