[发明专利]涡旋式真空泵

说明书

本发明提供一种采用不产生压缩热的膨胀式、并且具有能够进行有效率的吸引/喷出的构造的涡旋式真空泵。有关本发明的涡旋式真空泵（1）具备：壳体（5），在其内部划分形成动作空间（3）；一对驱动涡旋部件（13、16），配设在前述动作空间（3）内；以及从动涡旋部件（17，）配设在该一对驱动涡旋部件（13、16）之间；由立设在从动涡旋部件（17）的两侧的从动涡旋件卷板（19、20）、以及与各个从动涡旋件卷板（19、20）啮合的各个驱动涡旋部件（13、16）的驱动涡旋件卷板（12、15），划分形成移动空间（21、22）；该移动空间（21、22）从中心侧朝向外周方向使其容积扩大，在最外周卷板（12a）的规定范围中使其容积减少。

技术领域

本发明涉及涡旋式真空泵，所述涡旋式真空泵具备驱动涡旋部件及从动涡旋部件，使由前述驱动涡旋部件及从动涡旋部件划分形成的划分形成空间变化，从吸入口吸引气体。

背景技术

专利文献1（日本特表2002－527670号公报）公开了一种涡旋式真空泵。该涡旋式真空泵具备膨胀器（膨胀机）及压缩器（压缩机），所述膨胀器及压缩器串联地作为2级配置在相同的壳体内，由相同的轴进行驱动，由此，该涡旋式真空泵容许通常伴随着再膨胀/压缩过程的过热。在该专利文献1中公开了，在涡旋式真空泵中，第1级是涡旋式的膨胀器，第2级是涡旋式的压缩器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2002－527670号公报。

发明内容

发明要解决的课题

如在专利文献1中公开那样，在作为真空泵使用膨胀器的情况下，放出袋内的空气压力与周围空气压力相比相当低，所以周围空气朝向放出袋再膨胀。因这样的周围空气的再膨胀，能量被消耗而产生过热。此外，在作为真空泵使用压缩器，在启动时或因向大气的泄漏而压缩器的入口空气为大气压的情况下，通常不进行润滑，或不能进行内部冷却，所以伴随着再膨胀/压缩过程的热给压缩器带来损伤，进而因再膨胀/压缩热，在涡旋元件产生过度的热增大，结果，有产生涡旋元件的前端、基体间的磨损这一不良状况。此外，在专利文献1所公开的涡旋式真空泵中，由于是膨胀器和压缩器的2级构造，所以产生装置自身大型化这一不良状况。

因此，本发明提供一种采用不产生压缩热的膨胀式并且具有能够进行有效率的吸引/喷出的构造的涡旋式真空泵。

用来解决课题的手段

本发明是一种涡旋式真空泵，由在其内部划分形成与喷出口连通的动作空间的壳体、被该壳体旋转自如地保持的一对旋转轴、配设在前述动作空间内并固定在各自的旋转轴的一对驱动涡旋部件、配设在该一对驱动涡旋部件之间的从动涡旋部件、以及将从动涡旋部件旋转自如地保持在前述壳体的一对从动涡旋件承接部构成，由立设在从动涡旋部件的两侧的从动涡旋件卷板、以及与各个从动涡旋件卷板啮合的各个驱动涡旋部件的驱动涡旋件卷板，划分形成移动空间，在该涡旋式真空泵中，前述移动空间在前述旋转轴的中心侧与在一方的旋转轴形成的吸引口连通，在最外周端与前述动作空间连通，并且从中心侧朝向外周方向使其容积扩大，在最外周卷板的规定范围中使其容积减少。

由此，在上述的涡旋式真空泵中，如果通过电动马达等的外部动力而旋转轴旋转，则在驱动涡旋部件及从动涡旋部件以高速旋转的同时，从动涡旋部件相对于驱动涡旋部件相对地进行回转运动，所以被从形成在旋转轴的吸引口吸引的流体被向从中心侧朝向外周方向容积扩大而被减压的移动空间吸引，向外周方向移动，在最外周卷板处使其容积减少而被压缩，能够经由动作空间从喷出口喷出。

此外，优选的是，将前述驱动涡旋件卷板各自的最外周卷板的进行压缩的范围的宽度形成得宽。这样，有关本发明的驱动涡旋件卷板及从动涡旋件卷板通过在驱动涡旋件卷板及从动涡旋件卷板的最外周卷板（具体而言，距最外周端部为270°的范围或3π/2［rad］的范围）中使涡旋件卷板的宽度增大，能够承受作用在最外周卷板的离心力，并且能够承受流体的压缩时的压力。