[发明专利]涡旋式真空泵

权利要求书

1.一种涡旋式真空泵，由在其内部划分形成与喷出口连通的动作空间的壳体、被该壳体旋转自如地保持的一对旋转轴、配设在前述动作空间内并固定在各自的旋转轴的第1及第2驱动涡旋部件、配设在该第1及第2驱动涡旋部件之间的从动涡旋部件、以及将从动涡旋部件旋转自如地保持在前述壳体的第1及第2从动涡旋件承接部构成，由立设在从动涡旋部件的两侧的第1及第2从动涡旋件卷板、以及与前述第1及第2从动涡旋件卷板啮合的第1及第2驱动涡旋部件的第1及第2驱动涡旋件卷板，划分形成第1及第2移动空间，其特征在于，

前述第1及第2移动空间在前述旋转轴的中心侧与在一方的旋转轴形成的吸引口连通，在最外周端与前述动作空间连通，并且从中心侧朝向外周方向使其容积扩大，在最外周卷板的规定范围中使其容积减少；

在最外周卷板的使第1及第2移动空间的容积减少而进行压缩行程的范围中，前述第1及第2驱动涡旋件卷板被一体地形成，进行压缩行程的范围的最外周卷板的宽度形成得比从中心侧到外周附近的掌管膨胀的驱动涡旋件卷板的宽度宽，前述从中心侧到外周附近的掌管膨胀的驱动涡旋件卷板的宽度遍及其整体为相同的宽度，前述进行压缩行程的范围的最外周卷板的宽度遍及其整体为相同的宽度。

2.如权利要求1所述的涡旋式真空泵，其特征在于，

在位于前述移动空间的最外周端的从动涡旋部件，形成排出孔，在该排出孔作为止回阀而设置簧片阀。