[发明专利]一种主基板用表面精整制造打磨装置

权利要求书

1.一种主基板用表面精整制造打磨装置，包括操作台(1)、驱动电机(2)和打磨盘(3)，其特征在于：所述驱动电机(2)设置于操作台(1)的上方，所述打磨盘(3)的顶端通过转轴与驱动电机(2)的输出轴传动连接，所述操作台(1)的顶端设有位置调整机构，所述操作台(1)顶端的中部固定连接有载物罩(6)，所述操作台(1)底端的一侧固定连接有抽气泵(4)，所述抽气泵(4)的进气口密封卡接有抽气管(5)，所述抽气管(5)的一端贯穿操作台(1)的底端并与载物罩(6)的底端穿插连接，所述抽气管(5)的一端固定连接有密封管头(7)，且所述密封管头(7)与载物罩(6)内腔的底端固定连接，所述载物罩(6)的顶端环形开设有卡槽(12)，所述卡槽(12)的顶部活动滑动卡接有密封环(13)，所述卡槽(12)内腔的底端呈环形阵列固定连接有至少三个弹簧(14)，至少三个所述弹簧(14)的顶端均与密封环(13)的底端固定连接，且所述密封环(13)的横截面为T型。

2.根据权利要求1所述的一种主基板用表面精整制造打磨装置，其特征在于：所述位置调整机构包括两个第一线性电机(8)、两个第二线性电机(9)和第三线性电机(10)，两个所述第一线性电机(8)分别固定连接于操作台(1)顶端的两侧，两个所述第二线性电机(9)的底端分别与两个第一线性电机(8)顶端的输出端传动连接，所述第三线性电机(10)背面的两侧分别与两个第二线性电机(9)正面的输出端传动连接，所述第三线性电机(10)正面的输出端固定连接有固定板(11)，所述驱动电机(2)通过固定环与固定板(11)的中部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种主基板用表面精整制造打磨装置，其特征在于：所述载物罩(6)外壁的顶部固定连接有圆台型橡胶环(15)，且所述圆台型橡胶环(15)顶部的直径大于底部的直径。

4.根据权利要求1所述的一种主基板用表面精整制造打磨装置，其特征在于：所述操作台(1)底端的边角处固定连接有支撑腿(16)，所述支撑腿(16)的底端固定连接有承重板(17)，所述支撑腿(16)的底部环形固定连接有四个三角型固定块(18)，且四个所述三角型固定块(18)的底端均与承重板(17)的底端固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种主基板用表面精整制造打磨装置，其特征在于：所述密封管头(7)的内腔固定连接有过滤网(19)。

6.根据权利要求1所述的一种主基板用表面精整制造打磨装置，其特征在于：所述驱动电机(2)、第一线性电机(8)、第二线性电机(9)、第三线性电机(10)和抽气泵(4)分别通过外接开关与电源电性连接。