[发明专利]一种高温酸化缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种高温酸化缓蚀剂，其特征在于，由以下质量百分比的组分组成：咪唑啉型曼尼希碱：25%~30%，丙炔醇：10%~15%，KI：0.3%~0.5%，OP-10：5%~10%，N,N-二甲基甲酰胺：15%~20%，二乙二醇：18%~25%，去离子水：10%~15%；

所述咪唑啉型曼尼希碱的结构式如式1所示，其中R= CH₃(CH₂)₇CH=CH(CH₂)₇—、CH₃（CH₂）₄CH＝CHCH₂CH=CH（CH₂）₇—或CH₃CH₂CH＝CHCH₂CH=CHCH₂CH=CH(CH₂)₇—，n=2~4，

式1。

2.一种如权利要求1所述的高温酸化缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

在搅拌条件下向去离子水中加入KI，待KI完全溶解后依次加入N,N-二甲基甲酰胺、二乙二醇，升温至50~60℃，然后加入OP-10，最后加入丙炔醇及咪唑啉型曼尼希碱继续搅拌0.5~1h，冷却至室温即得。

3.根据权利要求2所述的高温酸化缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述咪唑啉型曼尼希碱由以下质量百分比的原料制得：硫脲基烯酸咪唑啉40~45%，苯甲醛10~15%，丁酮5~10%，无水乙醇40~45%。

4.根据权利要求3所述的高温酸化缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述咪唑啉型曼尼希碱由包括以下步骤的制备方法制得：将无水乙醇、硫脲基烯酸咪唑啉、苯甲醛加入到反应釜中，调PH至3~4，待体系温度升至60~80℃时，采用滴加方式加入丁酮，滴加时间维持在0.5h~0.8h，滴加完后继续升温至80℃~90℃，反应4~5h，降温即得。

5.根据权利要求3所述的高温酸化缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述硫脲基烯酸咪唑啉由以下质量百分比的原料制得：烯酸咪唑啉60~70%，二甲苯15~20%，硫脲15~20%。

6.根据权利要求5所述的高温酸化缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述烯酸咪唑啉由以下质量百分比的原料制得：烯酸55~60%，二甲苯15~20%，多乙烯多胺20~30%。

7.根据权利要求6所述的高温酸化缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述烯酸为亚油酸、油酸或亚麻酸。

8.根据权利要求5所述的高温酸化缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述硫脲基烯酸咪唑啉由包括以下步骤的制备方法制得：将二甲苯及烯酸咪唑啉加入到反应釜中，开启搅拌及加热，待温度升至60~80℃时加入相应计量的硫脲，同时通以氮气进行保护，于140~160℃反应2~4h，之后继续升温，在180~200℃反应1~2h，反应达到终点后，冷却即得。

9.根据权利要求6所述的高温酸化缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述烯酸咪唑啉由包括以下步骤的制备方法制得：将二甲苯及多乙烯多胺加入到反应釜中，开启搅拌，随后缓慢加入相应计量的烯酸，开启加热同时通以氮气进行保护，于150~200℃反应2~4h，之后继续升温，在200~230℃反应2~4h，当反应达到终点后，关闭加热自然冷却，反应产物即为烯酸咪唑啉。