[发明专利]一种薄膜光伏电池的制造方法及薄膜光伏电池

说明书

本发明公开了一种薄膜光伏电池的制造方法及薄膜光伏电池，其中制造方法包括以下步骤：提供一透明基板，将透明基板朝向显示模组的一侧进行前电极、光吸收层和背电极的成膜刻蚀；还包括对金属辅助电极的成膜刻蚀的步骤，其中金属辅助电极与前电极接触连接并金属辅助电极与背电极绝缘隔开。实施本发明，通过将前电极接触连接有辅助电极，所述辅助电极用作栅极总线或者减少前电极的电阻，其可以防止前电极电阻过大对光伏转换效率的影响，从而提高整个薄膜光伏电池的效率。

技术领域

本发明涉及光伏电池制造技术领域，更具体地涉及一种薄膜光伏电池的制造方法及薄膜光伏电池。

背景技术

随着人们对能源的需求越来越高及薄膜光伏电池技术的不断发展，将薄膜光伏电池应用在显示模组（例如可穿戴电子产品）上，利用光转换电的原理给显示模组供电的技术得到越来越广泛的应用。

由于可穿戴类电子产品不仅在户外或者强光环境下使用，更多时间是在室内或者弱光环境下使用，因此如何提升在弱光环境下的光电转换效率成为薄膜光伏电池制造技术的亟待解决的技术问题之一。

发明内容

为了解决所述现有技术的不足，本发明提供了一种薄膜光伏电池的制造方法及薄膜光伏电池，通过将前电极接触连接有辅助电极，所述辅助电极用作栅极总线或者减少前电极的电阻，所述金属辅助电极与前电极的连接部分面积可根据有效光伏转化面积而定，其可以防止前电极电阻过大对光伏转换效率的影响，从而提高整个薄膜光伏电池的效率。

本发明所要达到的技术效果通过以下方案实现：一种薄膜光伏电池的制造方法，包括以下步骤：提供一透明基板，将透明基板朝向显示模组的一侧进行前电极、光吸收层和背电极的成膜刻蚀；还包括对金属辅助电极的成膜刻蚀的步骤，其中金属辅助电极与前电极接触连接并金属辅助电极与背电极绝缘隔开。

优选地，所述薄膜光伏电池的制造方法包括以下步骤：

步骤S1：提供一透明基板，将透明基板朝向显示模组的一侧进行金属辅助电极成膜；

步骤S2：将金属辅助电极经涂胶曝光后成像并化学刻蚀；

步骤S3：在所述透明基板上进行前电极成膜，此时所述金属辅助电极至少部分形成在前电极的下面；

步骤S4：在所述前电极上进行光吸收层化学气相沉积成膜；

步骤S5：在所述光吸收层上进行背电极物理气相沉积成膜；

步骤S6：清洗后对背电极和光吸收层进行成像；

步骤S7：对前电极进行涂胶曝光成像后进行化学刻蚀；

步骤S8：对最外层的保护层进行成膜或涂胶。

优选地，所述薄膜光伏电池的制造方法包括以下步骤：

步骤S1：提供一透明基板，将透明基板朝向显示模组的一侧进行前电极成膜；

步骤S2：在所述前电极上进行光吸收层化学气相沉积成膜；

步骤S3：在所述光吸收层上进行背电极物理气相沉积成膜、成像、刻蚀；

步骤S4：直接对光吸收层进行干刻蚀后脱光刻胶膜；

步骤S5：对前电极进行涂胶曝光成像后进行化学刻蚀后脱掉光刻胶；

步骤S6：对绝缘层进行成膜，用于防止前电极上的栅极总线与背电极连接导致短路；

步骤S7：对金属辅助电极成膜，成像、刻蚀，光刻胶脱模处理；

步骤S8：对最外层的保护层成膜。

优选地，所述薄膜光伏电池的制造方法包括以下步骤：