[发明专利]一种检测方法和检测系统

说明书

本发明提供了一种检测方法和检测系统，包括：提供检测设备，所述检测设备具有第一坐标系和第二坐标系；提供待测物，所述待测物包括相对的第一面和第二面，所述第一面具有待测点，所述第二面具有至少三个不共线的临近点，所述临近点与所述待测点之间的距离在预设范围内；通过所述检测设备对所述待测点进行第一检测，获得所述待测点在所述第一坐标系下的第一坐标；通过所述检测设备对至少三个所述临近点进行第二检测，获得所述临近点在所述第二坐标系下的第二坐标；根据所述第一坐标和所述第二坐标，获取所述待测点到所述至少三个临近点所在平面的距离，得到待测点的高度值或厚度值，从而解决了无法获取待测物上任意点的高度或厚度信息的问题。

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，更具体地说，涉及一种检测方法和检测系统。

背景技术

随着现代工业的发展，精密加工被应用到越来越多的领域中，同时，人们对加工精度也提出了更高的要求。为了满足加工精度需求，提高加工样品合格率，人们常对加工过程及加工成品进行形貌畸变检测，确保其畸变在可容忍范围内。

现有的畸变检测一般采用三维检测方法，现有技术中，常用的三维检测方法包括接触式检测和非接触式检测。接触式检测设备主要包括三坐标测量仪；非接触式检测设备主要包括光学检测设备，所采用的测量方法包括：激光三角法、干涉法、共聚焦法等光学测量方法。由于非接触式检测不需要与待测物接触，对待测物的损伤较小，因此，受到越来越多的关注。

但是，现有的畸变检测往往仅需要对待测物的一面进行检测，获取待测物一个表面的信息；或者，分别检测多个表面，分别获得多个表面的信息。然而，在工业检测中，往往需要获取待测物任意点的高度或厚度信息。因此，如何获取待测物上任意点的高度或厚度信息，已经成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种检测方法和检测系统，以解决现有的检测方法无法获取待测物上任意点的高度或厚度信息的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种检测方法，包括：

提供检测设备，所述检测设备具有第一坐标系和第二坐标系；

提供待测物，所述待测物包括相对的第一面和第二面，所述第一面具有待测点，所述第二面具有至少三个不共线的临近点，所述临近点与所述待测点之间的距离在预设范围内；

通过所述检测设备对所述待测点进行第一检测，获得所述待测点在所述第一坐标系下的第一坐标；

通过所述检测设备对至少三个所述临近点进行第二检测，获得所述临近点在所述第二坐标系下的第二坐标；

根据所述第一坐标和所述第二坐标，获取所述待测点到所述至少三个临近点所在平面的距离，得到检测高度值。

可选地，所述第一坐标系和所述第二坐标系之间具有第一转换关系；

所述检测方法还包括：获取所述第一坐标系和所述第二坐标系之间的第一转换关系；

获取所述待测点到所述至少三个临近点所在平面的距离的步骤包括：

根据所述第一转换关系将所述第一坐标和所述第二坐标转换至同一坐标系下，获得分别对应于所述第一坐标和所述第二坐标的第三坐标；

根据分别对应于所述第一坐标和所述第二坐标的第三坐标，获取所述待测点到所述至少三个临近点所在平面的距离。

可选地，所述第一检测之后，进行所述第二检测；

所述同一坐标系为所述第二坐标系，根据所述第一转换关系将所述第一坐标和所述第二坐标转换至同一坐标系下，获得分别对应于所述第一坐标和所述第二坐标的第三坐标包括：