[发明专利]一种检测方法和检测系统有效
申请号: | 201910452592.3 | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN112013784B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 陈鲁;李青格乐;吕肃;江博闻 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B11/16 |
代理公司: | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人: | 王仲凯 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 方法 系统 | ||
1.一种检测方法,其特征在于,包括:
提供检测设备,所述检测设备具有第一坐标系和第二坐标系;
提供待测物,所述待测物包括相对的第一面和第二面,所述第一面具有待测点,所述第二面具有至少三个不共线的临近点,所述临近点与所述待测点之间的距离在预设范围内;
通过所述检测设备对所述待测点进行第一检测,获得所述待测点在所述第一坐标系下的第一坐标;
通过所述检测设备对至少三个所述临近点进行第二检测,获得所述临近点在所述第二坐标系下的第二坐标;
根据所述第一坐标和所述第二坐标,获取所述待测点到所述至少三个临近点所在平面的距离,得到检测高度值;
所述检测设备还包括旋转轴;
所述第一坐标系为所述待测物绕所述旋转轴旋转预设角度之前,所述待测物与所述检测设备所处的坐标系;所述第二坐标系为所述待测物绕所述旋转轴旋转所述预设角度之后,所述待测物与所述检测设备所处的坐标系;
所述检测方法还包括:所述第一检测之后,使所述待测物旋转所述预设角度;使所述待测物旋转所述预设角度之后,进行所述第二检测;
或者,所述检测方法还包括:所述第二检测之后,使所述待测物旋转所述预设角度;使所述待测物旋转所述预设角度之后,进行所述第一检测。
2.根据权利要求 1 所述的方法,其特征在于,所述第一坐标系和所述第二坐标系之间具有第一转换关系;
所述检测方法还包括:获取所述第一坐标系和所述第二坐标系之间的第一转换关系;
获取所述待测点到所述至少三个临近点所在平面的距离的步骤包括:
根据所述第一转换关系将所述第一坐标和所述第二坐标转换至同一坐标系下,获得分别对应于所述第一坐标和所述第二坐标的第三坐标;
根据分别对应于所述第一坐标和所述第二坐标的第三坐标,获取所述待测点到所述至少三个临近点所在平面的距离。
3.根据权利要求 2 所述的方法,其特征在于,所述第一检测之后,进行所述第二检测;
所述同一坐标系为所述第二坐标系,根据所述第一转换关系将所述第一坐标和所述第二坐标转换至同一坐标系下,获得分别对应于所述第一坐标和所述第二坐标的第三坐标包括:
根据所述第一转换关系将所述第一坐标转换至所述第二坐标系下,获取所述待测点的第三坐标;
将所述第二坐标作为所述临近点的第三坐标。
4.根据权利要求 2 所述的方法,其特征在于,获取所述第一转换关系的步骤包括:
提供基准物,所述基准物具有特征点,所述特征点相对于所述旋转轴具有旋转不对称性;
通过所述检测设备对所述基准物进行检测,获得所述特征点在所述第一坐标系下的第四坐标;
使所述基准物绕所述旋转轴旋转所述预设角度;
使所述基准物绕所述旋转轴旋转所述预设角度之后,通过所述检测设备对所述基准物进行检测,获得所述特征点在所述第二坐标系下的第五坐标;
根据所述第四坐标和所述第五坐标,获得所述第一坐标系和所述第二坐标系的第一转换关系。
5.根据权利要求 4 所述的方法,其特征在于,所述基准物包括至少一个贯穿所述基准物的特征结构,所述特征结构包括所述特征点,所述特征结构沿不经过所述特征点的任意直线具有旋转不对称性。
6.根据权利要求 1 所述的方法,其特征在于,所述检测设备还包括:
高度检测模块,用于检测所述待测物沿第一方向的坐标值;
移动模块,用于使所述待测物和所述检测设备在移动平面内相对移动,所述移动平面与第一方向不平行。
7.根据权利要求 6 所述的方法,其特征在于,所述第一检测之前,还包括:获取所述待测点在所述第一坐标系中的第一位置坐标,所述第一位置坐标为所述待测点的坐标在所述移动平面的坐标分量;
所述第一检测的步骤包括:
通过所述移动模块使所述待测物和所述检测设备在所述移动平面内相对移动至所述第一位置坐标处;移动至所述第一位置坐标处之后,通过所述高度检测模块获取所述待测点沿第一方向的第三坐标值。
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