[发明专利]防眩光玻璃的制备方法

权利要求书

1.防眩光玻璃的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、在清洗干净的玻璃基底表面溅射一层金属薄膜；

S2、在镀膜的玻璃基底上形成一层图形化的光刻胶层；

S3、以图形化的光刻胶层为掩膜，通过湿法腐蚀对所述金属薄膜进行刻蚀，待刻蚀完成后，去除所述图形化的光刻胶层，即得防眩光玻璃；

所述步骤S2中，所述形成图形化的光刻胶层的步骤包括：在经清洗的玻璃基底上形成光刻胶层，然后在采用设计好的图案掩膜板对所述玻璃基底的保护下，对所述玻璃基底进行光刻处理，得到待刻蚀区域，同时得到图形化的光刻胶层；

所述的图案掩膜板为带有阵列图案的掩膜板，所述阵列图案为1μm×1μm～50μm×50μm方形图案阵列，或直径为1～50μm的圆形图案阵列，相邻图案之间的间距为1～50μm ；

表面微米级的有序金属粒呈柱形火山状，产品的光反射率低至0.1％；

步骤S1中，所述溅射的工艺参数为：氩气流量为35～50sccm，所述金属薄膜的生长速率为40±5nm/min；

步骤S1中，所述金属薄膜的厚度为0.1～1μm。

2.如权利要求1所述的防眩光玻璃的制备方法，其特征在于，所述步骤S1、S2和S3的工艺过程均在洁净等级1000级以上的洁净间完成。

3.如权利要求1所述的防眩光玻璃的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述的玻璃基底为无机硅玻璃或有机透明玻璃；所述有机透明玻璃的材质为聚对苯二甲酸乙二脂、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯或由聚甲基丙烯酸甲酯与聚碳酸酯组成的混合物。

4.如权利要求1所述的防眩光玻璃的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述的金属薄膜为铬膜、钛膜、镍膜中的任意一种。

5.如权利要求1所述的防眩光玻璃的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述的光刻胶为AZ1500光刻胶或AZ1350光刻胶；胶厚为1～2μm。

6.如权利要求1所述的防眩光玻璃的制备方法，其特征在于，所述步骤S3中，当金属薄膜为铬膜时，所述湿法腐蚀的刻蚀液为硝酸铈铵、冰醋酸与去离子水的混合液。