[发明专利]一种激光扫描装置及激光扫描光学系统

说明书

本发明实施例是关于一种激光扫描装置及激光扫描光学系统。该激光扫描装置包括激光发生器、第一折射镜、第二折射镜、第三折射镜、振镜以及驱动装置，其中，所述激光发生器用以发射一激光束；所述第一折射镜靠近所述激光发生器发射激光束的一侧；所述第二折射镜与所述第三折射镜位于所述第一折射镜和振镜之间，且间隔第一预设距离；所述驱动装置与所述第一折射镜连接，用以驱动所述第一折射镜沿所述激光束的光路方向进行往复移动第二预设距离。本发明实施例可以使得聚焦至工作平面内的激光光斑尺寸更接近预期目标，在一定程度上减小了激光扫描装置的误差，使得扫描结果更加精确。

技术领域

本发明实施例涉及激光聚焦技术领域，尤其涉及一种激光扫描装置及激光扫描光学系统。

背景技术

激光扫描装置可广泛应用于激光打标、激光雕刻以及激光加工等领域。相关技术中，能变焦的激光扫描装置通常要依赖于序列光线追迹模式下的成像光学设计，即忽略入射激光本身的光束发散角、强度分布等光束特性，将入射激光近似为平行光。

关于上述技术方案，发明人发现至少存在如下一些技术问题：例如激光扫描装置实际的聚焦光斑尺寸会偏离预期设计指标，使用时还需要依赖经验对扫描结果进行补偿修正，费时费力。因此，有必要改善上述相关技术方案中存在的一个或者多个问题。

需要注意的是，本部分旨在为权利要求书中陈述的本发明的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种激光扫描装置及激光扫描光学系统，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

根据本发明实施例的第一方面，提供一种激光扫描装置，包括激光发生器、第一折射镜、第二折射镜、第三折射镜、振镜以及驱动装置；其中：

所述激光发生器，用以发射一激光束；

所述第一折射镜，靠近所述激光发生器发射激光束的一侧，用以将所述激光束发散形成发散激光束；

所述第二折射镜与所述第三折射镜位于所述第一折射镜和振镜之间，且间隔第一预设距离；其中，所述发散激光束依次通过所述第二折射镜与所述第三折射镜汇聚后照射至所述振镜的镜片表面，并由所述振镜的镜片表面反射至工作面；

所述驱动装置，与所述第一折射镜连接，用以驱动所述第一折射镜沿所述激光束的光路方向进行往复移动第二预设距离；所述第一折射镜、所述第二折射镜和所述第三折射镜分别具有预设焦距。

本发明的一实施例中，所述第一折射镜为负透镜，所述第二折射镜和所述第三折射镜为正透镜。

本发明的一实施例中，所述第一折射镜的有效通光直径大于所述激光束的光斑直径。

本发明的一实施例中，所述第二预设距离小于50mm。

本发明的一实施例中，所述第一折射镜的预设焦距为-25mm～-5mm。

本发明的一实施例中，所述第二折射镜的预设焦距为100mm～200mm。

本发明的一实施例中，所述第三折射镜的预设焦距为125mm～225mm。

本发明的一实施例中，所述第一折射镜和所述第二折射镜之间的间距为50mm～150mm；和/或，所述第二折射镜和所述第三折射镜之间的所述第一预设距离为0.1mm～50mm。

本发明的一实施例中，所述第三折射镜和所述振镜之间的间距为5mm～500mm；和/或，所述振镜和所述工作面之间的间距为10mm～5000mm。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种激光扫描光学系统，包括如上述任一项实施例所述的激光扫描装置。