[发明专利]一种激光扫描装置及激光扫描光学系统

权利要求书

1.一种激光扫描装置，其特征在于，包括激光发生器、第一折射镜、第二折射镜、第三折射镜、振镜以及驱动装置；其中：

所述激光发生器，用以发射一激光束；

所述第一折射镜，靠近所述激光发生器发射激光束的一侧，用以将所述激光束发散形成发散激光束；

所述第二折射镜与所述第三折射镜位于所述第一折射镜和振镜之间，且间隔第一预设距离；其中，所述发散激光束依次通过所述第二折射镜与所述第三折射镜汇聚后照射至所述振镜的镜片表面，并由所述振镜的镜片表面反射至工作面；

所述驱动装置，与所述第一折射镜连接，用以驱动所述第一折射镜沿所述激光束的光路方向进行往复移动第二预设距离；所述第一折射镜、所述第二折射镜和所述第三折射镜分别具有预设焦距。

2.根据权利要求1所述激光扫描装置，其特征在于，所述第一折射镜为负透镜，所述第二折射镜和所述第三折射镜为正透镜。

3.根据权利要求2所述激光扫描装置，其特征在于，所述第一折射镜的有效通光直径大于所述激光束的光斑直径。

4.根据权利要求3所述激光扫描装置，其特征在于，所述第二预设距离小于50mm。

5.根据权利要求4所述激光扫描装置，其特征在于，所述第一折射镜的预设焦距为-25mm～-5mm。

6.根据权利要求5所述激光扫描装置，其特征在于，所述第二折射镜的预设焦距为100mm～200mm。

7.根据权利要求6所述激光扫描装置，其特征在于，所述第三折射镜的预设焦距为125mm～225mm。

8.根据权利要求1～7任一项所述激光扫描装置，其特征在于，所述第一折射镜和所述第二折射镜之间的间距为50mm～150mm；和/或，所述第二折射镜和所述第三折射镜之间的所述第一预设距离为0.1mm～50mm。

9.根据权利要求8所述激光扫描装置，其特征在于，所述第三折射镜和所述振镜之间的间距为5mm～500mm；和/或，所述振镜和所述工作面之间的间距为10mm～5000mm。

10.一种激光扫描光学系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述激光扫描装置。