[发明专利]带电粒子束描绘装置及带电粒子束描绘方法

权利要求书

1.一种带电粒子束描绘装置，其特征在于，

具备：

描绘室，容纳载置描绘对象物的台；

束照射部，向载置在上述台上的上述描绘对象物照射带电粒子束；

台驱动部，使上述台移动；

温度分布计算部，基于上述台的移动履历信息，计算由上述描绘室内的热源带来的上述描绘对象物的温度分布；

变形量计算部，基于载置在上述台上的上述描绘对象物的约束条件和计算出的上述温度分布，计算上述描绘对象物的变形量；以及

位置修正部，基于计算出的上述变形量，将带电粒子束向上述描绘对象物的照射位置修正；

上述束照射部基于由上述位置修正部修正后的照射位置照射上述带电粒子束。

2.如权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

具备：

多个支承部，在上述台上支承上述描绘对象物；以及

约束条件设定部，设定将上述多个支承部中的、与上述描绘对象物的接触面的静摩擦力比上述描绘对象物的变形应力大的1个以上的支承部作为上述描绘对象物的约束点的上述约束条件；

上述变形量计算部基于由上述约束条件设定部设定的上述约束条件和计算出的上述温度分布，计算上述描绘对象物的变形量。

3.如权利要求2所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

对于上述1个以上的支承部，调整上述支承部的前端侧的曲率、和上述支承部与上述描绘对象物的接触部分的粗糙度中的至少一方，以使其与上述描绘对象物的接触面的静摩擦力比上述描绘对象物的变形应力大。

4.如权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

具备约束条件设定部，该约束条件设定部基于在使上述描绘对象物的温度分布不同的状态下由上述束照射部进行了向上述描绘对象物的描绘的情况下的描绘位置的位置误差的差和上述描绘对象物的温度分布，设定以上述描绘对象物上的位移零的位置为约束点的上述约束条件。

5.如权利要求4所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

上述约束条件设定部基于将分别不同的多个事前描绘图案以分别不同的温度分布用上述束照射部对上述描绘对象物进行了描绘的情况下的描绘位置的位置误差的差、和描绘上述多个事前描绘图案时的上述描绘对象物的温度分布，设定以上述描绘对象物上的位移零的位置为约束点的上述约束条件。

6.如权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

具备：

事前描绘图案生成部，生成应向上述描绘对象物描绘的事前描绘图案；以及

移动履历信息计算部，根据生成的上述事前描绘图案，计算上述台的移动履历信息；

上述温度分布计算部基于上述移动履历信息，计算上述描绘对象物的温度分布；

上述变形量计算部根据载置在上述台上的上述描绘对象物的约束条件和基于上述移动履历信息计算出的温度分布，计算上述描绘对象物的变形量；

上述位置修正部基于计算出的上述变形量，将上述描绘对象物内的带电粒子束的照射位置修正；

上述束照射部基于由上述位置修正部修正后的照射位置，开始向上述描绘对象物的描绘。

7.如权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

上述台驱动部使上述描绘对象物沿相互交叉的第1方向及第2方向移动；

上述束照射部以沿上述描绘对象物的上述第1方向延伸并在上述第2方向上具有规定的宽度的条纹为单位，进行向上述描绘对象物的描绘；

上述条纹具有在上述第1方向及上述第2方向上各配置有多个、且分别被照射来自上述束照射部的带电粒子束的多个子区域；

上述位置修正部基于计算出的上述变形量，按照上述条纹内的上述多个子区域中的每一个将带电粒子束的照射位置修正。