[发明专利]一种人工合成柱状金刚石大单晶的方法在审
申请号: | 201910401179.4 | 申请日: | 2019-05-15 |
公开(公告)号: | CN110055585A | 公开(公告)日: | 2019-07-26 |
发明(设计)人: | 贾晓鹏;王遥;马红安 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | C30B29/04 | 分类号: | C30B29/04;C30B11/14 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人: | 王恩远 |
地址: | 130012 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石 柱状 大单晶 合成 长宽比 长条形 金刚石单晶 温度梯度法 高温高压 金刚石片 晶体生长 可重复性 腔体中心 生产要求 形状规则 直接合成 批量化 晶面 籽晶 对称 生长 加工 | ||
1.一种人工合成柱状金刚石大单晶的方法,采用高温高压温度梯度法合成金刚石大单晶,自腔体的高温端向低温端依次排列碳源(7)、触媒(8)、籽晶(3)和晶床(10);所述的高压为5~6GPa,合成时间为10~30h;其特征在于,所述的籽晶(3)为长条形晶面;所述的高温,腔体中心温度为1260~1360℃。
2.根据权利要求1所述的人工合成柱状金刚石大单晶的方法,其特征在于,所述的籽晶(3)长条形晶面,其长宽比大于1.5。
3.根据权利要求1所述的人工合成柱状金刚石大单晶的方法,其特征在于,所述的高温,腔体中心温度为1260~1300℃,合成柱状金刚石片晶;腔体中心温度为1310~1360℃,合成柱状金刚石塔晶。
4.根据权利要求1、2或3所述的人工合成柱状金刚石大单晶的方法,其特征在于,所述的籽晶(3)放置在晶床(10)的相对中心区域。
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