[发明专利]掩膜板、蒸镀装置、蒸镀方法以及掩膜板中蒸镀开口的设计方法

说明书

本发明提供了一种掩膜板、蒸镀装置、蒸镀方法以及掩膜板中蒸镀开口的设计方法，涉及显示技术领域，可以提高蒸镀过程中待蒸镀基板与掩膜板之间的对位准确性。掩膜板上设置有多个蒸镀开口、以及至少一个第一检测用开口；第一检测用开口的尺寸小于蒸镀开口的尺寸；第一检测用开口靠近至少一个蒸镀开口设置。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板、蒸镀装置、蒸镀方法以及掩膜板中蒸镀开口的设计方法。

背景技术

在显示面板的制作过程中，有时需要利用开放式的掩膜板(open mask)来形成某些膜层。以显示面板为有机电致发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示面板为例，可利用掩膜板来蒸镀形成发光功能层中的除发光层外的其他功能膜层。当然，对于某些型号的OLED显示面板，其发光层也可通过掩膜板来形成。

如图1所示，待蒸镀基板3位于掩膜板1的上侧，蒸镀源4位于掩膜板1的下侧。由于在蒸镀工艺中，掩膜板1上的蒸镀开口需要与待蒸镀基板3上的蒸镀区对位准确，以便使蒸镀材料41在蒸镀区形成膜层，因此，掩膜板1与待蒸镀基板3之间的对位显得尤为重要。

而目前掩膜板1与待蒸镀基板3之间的对位，主要依靠设置在掩膜板1上的对位孔与待蒸镀基板3上的对位标记确定，对位结构单一。因而无法有效保证蒸镀开口与蒸镀区之间对位的准确性，而对位不准确则无法保证膜层的蒸镀位置。

发明内容

本发明的实施例提供一种掩膜板、蒸镀装置、蒸镀方法以及掩膜板中蒸镀开口的设计方法，可以提高蒸镀过程中待蒸镀基板与掩膜板之间的对位准确性，保证膜层的蒸镀位置及蒸镀效果。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，提供一种掩膜板，所述掩膜板设置有多个蒸镀开口、以及至少一个第一检测用开口；所述第一检测用开口的尺寸小于所述蒸镀开口的尺寸；所述第一检测用开口靠近至少一个所述蒸镀开口设置。

可选的，在所述掩膜板长度方向的两侧边缘还至少设置有两个第二检测用开口。

可选的，所述第一检测用开口为多个；每个所述蒸镀开口至少对应一个所述第一检测用开口。

在此基础上，可选的，每个所述蒸镀开口对应两个所述第一检测用开口，且该两个第一检测用开口分别设置在所述蒸镀开口的对角位置处；或者，该两个第一检测用开口分别设置在蒸镀开口的相对两边侧。可选的，多个所述蒸镀开口分为多个蒸镀开口组，每个蒸镀开口组中包括2×2个所述蒸镀开口；在每个所述蒸镀开口组中任意相邻的两个所述蒸镀开口之间均设置有一个所述第一检测用开口。

在每个所述蒸镀开口组中任意相邻的两个所述蒸镀开口之间均设置有一个所述第一检测用开口基础上，可选的，位于不同所述蒸镀开口组且任意相邻的两个所述蒸镀开口之间，还设置有一个所述第一检测用开口。

在此基础上，可选的，所述第一检测用开口的形状为矩形。

在此基础上，可选的，位于上下相邻的两行蒸镀开口之间的第一检测用开口，沿行方向，其长度与所述蒸镀开口的长度相等；位于左右相邻的两列蒸镀开口之间的第一检测用开口，沿列方向，其宽度与所述蒸镀开口的宽度相等。

再一方面，提供一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室、蒸镀源、待蒸镀基板承载板、以及上述的掩膜板；所述掩膜板设置于所述蒸镀源的上方，所述待蒸镀基板承载板设置于所述掩膜板的上方。