[发明专利]触控显示面板及其制造方法、触控显示装置

说明书

本申请公开了一种触控显示面板及其制造方法、触控显示装置，属于显示技术领域。所述触控显示面板包括：依次层叠在衬底基板上的平坦层、触控信号线层和触控电极层；触控电极层包括：多个触控电极，触控信号线层包括：与多个触控电极对应的多个触控信号线，触控信号线用于将对应触控电极上加载的触控信号传输至触控驱动电路；平坦层远离衬底基板的一侧具有与多个触控信号线对应的多个凹槽，触控信号线位于对应的凹槽内。本申请解决了由于平坦层与触控信号线层之间存在颗粒，导致触控信号线层较容易从平坦层上脱落的问题。本申请用于显示图像。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别涉及一种触控显示面板及其制造方法、触控显示装置。

背景技术

随着显示技术的发展，具有触控功能的显示装置得到了广泛的应用，如智能手机、智能手表和平板电脑等。具有触控功能的显示装置包括触控显示面板。触控显示面板通常包括：叠加设置在衬底基板上的薄膜晶体管(thin film transistor，TFT)层、平坦层、触控金属图案(touch pattern metal，TPM)层和触控电极层。其中，触控金属图案层用于将触控电极层上加载的触控信号传输至触控驱动电路。

相关技术中，TPM层通常采用溅射(sputter)工艺形成。其形成过程可以为：将靶材和形成有平坦层的衬底基板放入sputter装置内，然后向sputter装置内的气体施加高压，使sputter装置内产生电场，并使sputter装置内的气体处于电离状态，产生的气体离子在电场作用下轰击靶材，使得靶材原子和分子从靶材逸出，并向平坦层远离衬底基板的表面运动，沉积在该表面上的靶材原子和分子形成该TPM层。其中，靶材为由用于形成TPM的材料制成的板状结构。

但是，由于靶材原子和分子在向平坦层运动时会撞击平坦层，导致平坦层被靶材原子和分子撞击的部分产生大量颗粒，且由于该大量颗粒位于平坦层与形成的TPM层之间，会降低TPM层与平坦层之间的粘附力，导致TPM层较容易从平坦层上脱落。

发明内容

本申请提供了一种触控显示面板及其制造方法、触控显示装置，可以解决相关技术中由于靶材原子和分子在向平坦层运动时会撞击平坦层，导致平坦层与TPM层之间存在大量颗粒，进而导致TPM层较容易从平坦层上脱落的问题，所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种触控显示面板，所述触控显示面板包括：依次层叠在衬底基板上的平坦层、触控信号线层和触控电极层；

所述触控电极层包括：多个触控电极，所述触控信号线层包括：与所述多个触控电极对应的多个触控信号线，所述触控信号线用于将对应触控电极上加载的触控信号传输至触控驱动电路；

所述平坦层远离所述衬底基板的一侧具有与所述多个触控信号线对应的多个凹槽，所述触控信号线位于对应的凹槽内。

可选地，所述凹槽在参考方向上的深度小于或等于所述凹槽中触控信号线在所述参考方向上的厚度，所述参考方向垂直于所述衬底基板的表面。

可选地，所述触控信号线包括：依次层叠在所述平坦层上钛材料层、铝材料层和钛材料层。

可选地，所述触控显示面板还包括：位于触控信号线层远离所述衬底基板一侧的像素电极层，及位于所述衬底基板与所述平坦层之间的薄膜晶体管层，所述像素电极层与所述触控电极层，及所述像素电极层与所述触控信号线层均绝缘；

所述像素电极层包括：多个像素电极，所述薄膜晶体管层包括：与多个像素电极对应的多个薄膜晶体管；

所述平坦层还具有与多个像素电极对应的过孔，所述触控显示面板还包括：位于所述过孔中的连接线，每个像素电极通过位于对应过孔中的连接线与对应薄膜晶体管中的目标极连接，所述目标极为源极或漏极。

第二方面，提供了一种触控显示面板的制造方法，所述方法包括：