[发明专利]触控显示面板及其制造方法、触控显示装置

权利要求书

1.一种触控显示面板，其特征在于，所述触控显示面板包括：依次层叠在衬底基板上的平坦层、触控信号线层和触控电极层；

所述触控电极层包括：多个触控电极，所述触控信号线层包括：与所述多个触控电极对应的多个触控信号线，所述触控信号线用于将对应触控电极上加载的触控信号传输至触控驱动电路；

所述平坦层远离所述衬底基板的一侧具有与所述多个触控信号线对应的多个凹槽，所述触控信号线位于对应的凹槽内。

2.根据权利要求1所述的触控显示面板，其特征在于，所述凹槽在参考方向上的深度小于或等于所述凹槽中触控信号线在所述参考方向上的厚度，所述参考方向垂直于所述衬底基板的表面。

3.根据权利要求1或2所述的触控显示面板，其特征在于，所述触控信号线包括：依次层叠在所述平坦层上钛材料层、铝材料层和钛材料层。

4.根据权利要求1或2所述的触控显示面板，其特征在于，所述触控显示面板还包括：位于触控信号线层远离所述衬底基板一侧的像素电极层，及位于所述衬底基板与所述平坦层之间的薄膜晶体管层，所述像素电极层与所述触控电极层，及所述像素电极层与所述触控信号线层均绝缘；

所述像素电极层包括：多个像素电极，所述薄膜晶体管层包括：与多个像素电极对应的多个薄膜晶体管；

所述平坦层还具有与多个像素电极对应的过孔，所述触控显示面板还包括：位于所述过孔中的连接线，每个像素电极通过位于对应过孔中的连接线与对应薄膜晶体管中的目标极连接，所述目标极为源极或漏极。

5.一种触控显示面板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：

在衬底基板上形成平坦层，所述平坦层远离所述衬底基板的一侧具有多个凹槽；

在形成有所述平坦层的衬底基板上形成触控信号线层，所述触控信号线层包括：与所述多个凹槽对应的多个触控信号线，且所述触控信号线位于对应的凹槽内；

在形成有所述触控信号线层的衬底基板上形成触控电极层，所述触控电极层包括：与多个触控信号线对应的多个触控电极，所述触控信号线用于将对应触控电极上加载的触控信号传输至触控驱动电路。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在形成有所述平坦层的衬底基板上形成触控信号线层，包括：

采用电镀工艺在形成有所述平坦层的衬底基板上形成触控材料层；

对所述触控材料层进行图案化处理，得到包括多个触控信号线的触控信号线层。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述对所述触控材料层进行图案化处理，得到包括多个触控信号线的触控信号线层，包括：

采用化学机械研磨工艺对所述触控材料层进行研磨处理，得到所述触控信号线层。

8.根据权利要求5至7任一所述的方法，其特征在于，所述在衬底基板上形成平坦层，包括：

在所述衬底基板上形成薄膜晶体管层，所述薄膜晶体管层包括：多个薄膜晶体管；

在形成有所述所述薄膜晶体管层的衬底基板上形成所述平坦层，所述平坦层还具有与多个薄膜晶体管对应的过孔；

在所述在衬底基板上形成平坦层后，所述方法还包括：

在形成有所述平坦层的衬底基板上形成连接线，所述连接线位于所述过孔内；

在形成有所述连接线的衬底基板上形成像素电极层，所述像素电极层包括：与多个薄膜晶体管对应的多个像素电极，每个像素电极通过位于对应过孔中的连接线与对应薄膜晶体管中的目标极连接，所述目标极为源极或漏极。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述触控信号线层与所述连接线由同一次构图工艺制成。

10.一种触控显示装置，其特征在于，包括权利要求1至4任一所述的触控显示面板。