[发明专利]一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂及其使用方法

说明书

本发明公开了一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂，由以下质量百分比的原料混合而成：五水硫酸铜1～12％、氯化钠8～21％、磷酸18～41％、无水乙醇0.1～7.5％、蒸馏水19～72％；选用五水硫酸铜‑氯化钠‑磷酸‑无水乙醇‑蒸馏水组成的浸蚀剂，对奥氏体耐热不锈钢浸蚀的过程中，能有效抑制过度腐蚀溶解脱落而形成的蚀坑，在扫描电子显微镜下可观察到奥氏体耐热不锈钢中的σ相的形貌完整清晰，确保可采用能谱仪对其进行准确的成分检测分析，对分析确定奥氏体耐热不锈钢材料失效原因具有重要意义；本发明的浸蚀剂试剂组成简单，侵蚀效果稳定，重现性好，可长期保存使用，是一种理想的扫描电镜观察及能谱分析σ相用浸蚀剂。

技术领域

本发明涉及浸蚀剂技术领域，尤其是一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂。

背景技术

σ相是一种具有体心正方晶体结构的铁-铬金属间化合物(FeCr)，其硬而脆。对于电站锅炉用奥氏体耐热不锈钢，长期运行失效后会析出σ相，σ相的析出长大将显著降低材料的塑性和韧性，引发材料的早期失效，因此，通过浸蚀分析σ相，对确定材料失效原因具有重要意义。

目前，对σ相在进行金相检验时常采用的浸蚀剂有三氯化铁-盐酸水溶液、苦味酸-盐酸-酒精溶液等现有的化学浸蚀剂，正常浸蚀均会造成σ相的部分溶解及脱溶，形成蚀坑。此现象在光学显微镜下不宜察觉，采用光学显微镜进行观察，可以得到清晰的组织形貌及分布特点，由光学显微镜固有的垂直分辨率不高所致。为了对长期服役失效的电站锅炉用奥氏体耐热不锈钢样管进行进一步准确的失效分析，需要采用比光学显微镜更加先进的扫描电子显微镜(SEM)+能谱仪(EDS)的设备进行观察分析。但在具备大景深成像特点的扫描电子显微镜下观察这种腐蚀溶解脱落形成的蚀坑则极为明显。由于蚀坑的形成，使得无法采用能谱仪对扫描电子显微镜观察到的σ相进行准确的成分检测分析，严重影响失效分析工作，如图1-2所示。为此，亟需找到一种组成简单、安全且能长期稳定使用的浸蚀剂，可将σ相组织清晰、稳定、无假象地显示出来，使其不发生腐蚀溶解脱落而形成蚀坑，以供扫描电子显微镜(SEM)观察及能谱仪(EDS)能谱分析。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂，浸蚀后的奥氏体耐热不锈钢中的σ相形貌完整清晰，无浸蚀脱落造成的蚀坑，可采用能谱仪对其进行准确的成分检测分析。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂，由以下质量百分比的原料混合而成：五水硫酸铜1～12％、氯化钠8～21％、磷酸18～41％、无水乙醇0.1～7.5％、蒸馏水19～72％。

进一步的，一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂由以下质量百分比的原料混合而成：五水硫酸铜5～10％、氯化钠12～18％、磷酸25～38％、无水乙醇2～6.5％、蒸馏水30～55％。

进一步的，所述五水硫酸铜、氯化钠、磷酸及无水乙醇的纯度等级为分析纯。

一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂的使用方法，包括以下步骤：

(1)浸蚀剂制备：将配方量的五水硫酸铜和氯化钠置于容器中，然后加入蒸馏水搅拌10～15min，再加入磷酸和无水乙醇，继续搅拌20～30min，然后静置20～30min即得浸蚀剂；

(2)浸蚀：将待浸蚀试样进行磨制抛光后浸入步骤(1)所得的浸蚀剂中，待试样表面呈浅灰色后取出，用清水冲洗后再用无水乙醇冲洗，然后用热风吹干或烘干即可使用扫描电子显微镜观察和使用能谱仪进行成分检测分析。

进一步的，所述步骤(2)浸蚀过程中采用棉花擦拭试样抛光面5～20s。