[发明专利]一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂及其使用方法

权利要求书

1.一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂，其特征在于，由以下质量百分比的原料混合而成：五水硫酸铜1～12％、氯化钠8～21％、磷酸18～41％、无水乙醇0.1～7.5％、蒸馏水19～72％。

2.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂，其特征在于，由以下质量百分比的原料混合而成：五水硫酸铜5～10％、氯化钠12～18％、磷酸25～38％、无水乙醇2～6.5％、蒸馏水30～55％。

3.根据权利要求1或2所述的一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂，其特征在于，所述五水硫酸铜、氯化钠、磷酸及无水乙醇的纯度等级为分析纯。

4.根据权利要求1或2所述的一种扫描电子显微镜观察及能谱分析σ相用的浸蚀剂的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)浸蚀剂制备：将配方量的五水硫酸铜和氯化钠置于容器中，然后加入蒸馏水搅拌10～15min，再加入磷酸和无水乙醇，继续搅拌20～30min，然后静置20～30min即得浸蚀剂；

(2)浸蚀：将待浸蚀试样进行磨制抛光后浸入步骤(1)所得的浸蚀剂中，浸蚀过程中采用棉花擦拭试样抛光面5～20s,待试样表面呈浅灰色后取出，用清水冲洗后再用无水乙醇冲洗，然后用热风吹干或烘干即可使用扫描电子显微镜观察和使用能谱仪进行成分检测分析。