[发明专利]离子布植机用的供气系统

说明书

本发明为一种离子布植机用的供气系统，该供气系统包含一金属室、一电性绝缘盒、一硬质绝缘管件及一可挠性管件；该金属室的内部设置有一第一及第二管路，其底部通过多个电性绝缘件固定在地板上；该电性绝缘盒悬挂在该金属室的一外侧，该硬质绝缘管件设置在该电性绝缘盒内，其一端连接自该金属室外壁穿出的该第二管路，另一端则连接至该穿入至该电性绝缘盒的该可挠性管件。因电性绝缘盒悬挂在该金属室一侧，为避免其中的硬质绝缘管件内的气体受金属室连接的高电压影响而产生电解离，此掺杂气体需为高压气体。且该硬质绝缘管件连接可挠性管件可吸收外界震动能量。

技术领域

本发明关于一种离子布植机用的供气系统，尤指一种可远程输送离子布植机用气体的供气系统。

背景技术

半导体设备厂用的离子布植机包含有多个反应腔室，且各反应腔室会随着不同产品工艺配方改变所使用的掺杂气体种类，该些掺杂气体具有受高电压解离特性，也对人体具有毒性；该些掺杂气体会预先装罐后，设置在该离子布植机的一金属室内，并与金属室内的管路连接，透过管路将掺杂气体输送至离子布植机；此一金属室会与高电压源电连接，即该金属室连接至高电压源的高电位，而该金属室底面与地板之间会再设置有多个电性绝缘件，避免金属室内产生一高压差环境。

由于气瓶容量有限，若未控制好离子布植机中各该反应腔室于工艺中的使用量，在工艺中的反应腔室会出现掺杂气体耗尽，而被迫中止工艺造成损失；因此，目前许多半导体设备厂开始研发如何将离子布植机的管路连接至远程的大量储存的掺杂气体源，使供气无虞。如图6所示，为一种气体传输装置，在金属室70与远程大量掺杂气体储放室71之间设置有一相互串接的电性绝缘管72及金属波型管73，金属波型管73因为延展性较佳可吸收外界震动能量，避免电性绝缘管72损坏；再者，由于波型管73为金属材质且该金属室呈高电位，为避免在管内产生高压差造成输送的掺杂气体解离，如图所示，将该金属室70再连接一分压电路74，令该波型管73电连接至该分压电路74的分压节点，如此该波型管73的电位即低于该金属室70的电位，减少构成高压差环境的机率。

由上述说明可知，当离子布植机使用远程大量储存的掺杂气体源的气体传输装置，必须考虑外力震动破坏及高电压差解离问题。

发明内容

有鉴于前述远程掺杂气体源的气体传输装置的安全性考虑，本发明主要目的是提出一种新的离子布植机用的供气系统。

欲达上述目的所使用的主要技术手段为令该供气系统包含：

一金属室，电性连接一高电压源的高电位，该金属室的内部设置有一第一管路及一第二管路，该第二管路的一端与该第一管路连通，另一端则穿出该金属室一外侧；

多个电性绝缘件，固定于该金属室的底部，且电性连接一高电压源的低电位；

一电性绝缘盒，悬挂在该金属室的该外侧；

一硬质绝缘管件，直立地设置在该电性绝缘盒内，该硬质绝缘管件具有一第一端及一第二端，该第一端连接自该金属室的外侧穿出的该第二管路的一端；以及

一可挠性管件，其一端穿入该电性绝缘盒，并与该硬质绝缘管件的第二端连接，该可挠性管件的另一端用以连接至一大量掺杂气体储放室；其中：

该电性绝缘盒的长度与其盒内气体压力乘积大于该硬质绝缘管件的第一端与该第二管路连接处及该硬质绝缘管件的第二端与该可挠性管件连接处之间的最大解离电压差；

该硬质绝缘管件的长度与其输送掺杂气体的气体压力的乘积大于该硬质绝缘管件的第一端与该第二管路连接处及该硬质绝缘管件的第二端与该可挠性管件连接处之间的最大解离电压差。