[发明专利]离子布植机用的供气系统

权利要求书

1.一种离子布植机用的供气系统，其特征在于，包括：

一金属室，电性连接一高电压源的高电位，该金属室的内部设置有一第一管路及一第二管路，该第二管路的一端与该第一管路连通，另一端则穿出该金属室一外侧；

多个电性绝缘件，固定于该金属室的底部，且电性连接一高电压源的低电位；

一电性绝缘盒，悬挂在该金属室的该外侧；

一硬质绝缘管件，直立地设置在该电性绝缘盒内，该硬质绝缘管件具有一第一端及一第二端，该第一端连接自该金属室的外侧穿出的该第二管路的一端；以及

一可挠性管件，其一端穿入该电性绝缘盒，并与该硬质绝缘管件的第二端连接，该可挠性管件的另一端用以连接至一大量掺杂气体储放室；其中：

该电性绝缘盒的长度与其盒内气体压力乘积大于该硬质绝缘管件的第一端与该第二管路连接处及该硬质绝缘管件的第二端与该可挠性管件连接处之间的最大解离电压差；

该硬质绝缘管件长度与其输送掺杂气体的气体压力的乘积大于该硬质绝缘管件的第一端与该第二管路连接处及该硬质绝缘管件的第二端与该可挠性管件连接处之间的最大解离电压差。

2.如权利要求1所述的供气系统，进一步包含：

一第三管路，穿入该电性绝缘盒；以及

一真空泵浦，串接于该第三管路，通过该第三管路提供该电性绝缘盒一负压环境。

3.如权利要求1所述的供气系统，进一步包含：

一第四管路，穿入该电性绝缘盒；以及

一高压非活性气体源，通过一气阀连接至该第四管路，通过该气阀开启将该高压非活性气体不间断地输入至该电性绝缘盒中；其中，该高压非活性气体源的气体压力大于该硬质绝缘管件所输送的掺杂气体的气体压力。

4.如权利要求1所述的供气系统，其中该电性绝缘盒填充环氧树脂，并包覆该硬质绝缘管件。

5.如权利要求1至4任一项所述的供气系统，进一步包含：

一气压监测暨调节阀，连接至该第二管路，以调整其进气压力，并监测该进气压力及输出监测压力值。

6.如权利要求5所述的供气系统，其中该第一管路输送气体压力小于大气压力，该第二管路输送气体压力大于大气压力。

7.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，进一步包含一气瓶，其储存有掺杂气体，并通过一气阀与该第一管路连接。

8.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，其中该硬质绝缘管件材质为蓝宝石玻璃、陶瓷或塑化材料；其中该塑化材料为乙烯类聚合物、苯酯类聚合物、硫醚类聚合物其中之一。

9.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，其中可挠性管件的材质为不锈钢。

10.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，其中该掺杂气体为砷化氢、磷化氢、三氟化硼、一氧化碳、四氟化锗、四氟化硅、磷化氟、三氟化氮、四氢化锗。

11.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，其中该掺杂气体为砷化氢、磷化氢、三氟化硼、一氧化碳、四氟化锗、四氟化硅、磷化氟、三氟化氮、四氢化锗的其中之一与氟气、二气化碳、氢气、氮气、氩气的其中之一混合后的掺杂气体。

12.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，其中该电性绝缘盒悬挂在该金属室外侧靠底面处。

13.如权利要求1至4中任一项所述的供气系统，其中该电性绝缘盒悬挂在该金属室外侧靠顶面处。