[发明专利]一种显示面板及其制作方法、和显示装置

说明书

本申请涉及一种显示面板及其制作方法、和显示装置，该显示面板包括：基板；位于基板上的第一透明导电层，第一透明导电层的材质为氮氧化物；位于第一透明导电层上的第一反射层；位于第一反射层上的第二透明导电层，第二透明导电层的材质为氮氧化物。通过这种方式，采用透明导电氮氧化物替代氧化铟锡以得到阳极，不仅能够降低阳极的生成成本，减小阳极的毒性，还能够改善显示面板的发光效率。

【技术领域】

本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种显示面板及其制作方法、和显示装置。

【背景技术】

近年来，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)由于其具备自发光，不需背光源，以及对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异之特性，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。

目前，顶发光OLED的阳极材料通常采用氧化铟锡(ITO)材料，但是，氧化铟锡成本较高且有毒性，这在很大程度上限制了OLED的实际应用。因此，急需成本较低且毒性较小的阳极材料来替代氧化铟锡。

【发明内容】

本申请的目的在于提供一种显示面板及其制作方法、显示装置，以降低阳极的生成成本，减小阳极的毒性。

为了解决上述问题，本申请实施例提供了一种显示面板，该显示面板包括：基板；位于基板上的第一透明导电层，第一透明导电层的材质为氮氧化物；位于第一透明导电层上的第一反射层；位于第一反射层上的第二透明导电层，第二透明导电层的材质为氮氧化物。

其中，第一透明导电层和第二透明导电层的材质均为氮氧化铟钛。

其中，第一透明导电层是通过在基板上溅射氧化铟靶材和氮化钛靶材而形成的。

其中，第一透明导电层的厚度小于第一反射层的厚度，第二透明导电层的厚度小于第一透明导电层的厚度。

其中，第一透明导电层的厚度范围为30～100nm，第一反射层的厚度范围为40～200nm，第二透明导电层的厚度范围为5～20nm。

其中，显示面板还包括：位于第二透明导电层上的第二反射层；位于第二反射层上的第三透明导电层。

为了解决上述问题，本申请实施例提供了一种显示面板的制作方法，该显示面板的制作方法包括：提供基板；在基板上形成第一透明导电层，第一透明导电层的材质为氮氧化物；在第一透明导电层上形成第一反射层；在第一反射层上形成第二透明导电层，第二透明导电层的材质为氮氧化物。

其中，在基板上形成第一透明导电层的步骤，具体包括：通过在基板上溅射氧化铟靶材和氮化钛靶材，以形成第一透明导电层。

其中，在第一反射层上形成第二透明导电层的步骤之后，还包括：在第二透明导电层上，形成第二反射层；在第二反射层上，形成第三透明导电层。

为了解决上述问题，本申请实施例还提供了一种显示装置，该显示装置包括驱动电路和上述任一项的显示面板，其中，驱动电路用于向显示面板提供驱动电压。

本申请的有益效果是：区别于现有技术，本申请提供的显示面板包括基板、位于基板上的第一透明导电层、位于第一透明导电层上的第一反射层、以及位于第一反射层上的第二透明导电层，其中，第一透明导电层和第二透明导电层的材质均为氮氧化物，如此，采用透明导电氮氧化物替代氧化铟锡以得到阳极，不仅能够降低阳极的生成成本，减小阳极的毒性，还能够改善显示面板的发光效率。

【附图说明】

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。