[发明专利]一种镀膜用的微波功率源

权利要求书

1.一种镀膜用的微波功率源，包括微波驱动调制电源和两路微波发射头，其特征在于：所述微波驱动调制电源包括脉冲调制电源电路和控制系统，所述脉冲调制电源电路包括恒功率控制电路，所述控制系统和脉冲调制电源电路依次连接，脉冲调制电源电路用于根据控制信号稳定输出高压脉冲信号，每路所述微波发射头包括磁控管、馈线、磁控管灯丝供电电路和正反向微波功率测量电路，所述磁控管输入端连接微波驱动调制电源输出端，其输出端连接馈线，所述磁控管灯丝供电电路一端连接磁控管，其另一端连接控制系统，所述馈线还连接正反向微波功率测量电路后连接控制系统，微波发射头实现持续输出微波脉冲功率；

所述控制系统包括依次连接实现通讯的上位机、ARM-FPGA系统、光耦隔离系统、输入输出接口和压频转换模块；

压频转换模块：连接高压电源即脉冲调制电源电路，对高压电源输出信号进行采样，并对采样电压信号进行电压频率转换，使采样电压信号转换成频率信号；并将ARM-FPGA系统输出的频率脉冲信号转换成相对应的电压基准信号输入高压电源，用于控制高压电源的电压输出；

输入输出接口：用于向光耦隔离系统输入频率信号以及输出频率脉冲信号到压频转换模块；

光耦隔离系统：对输入的频率信号进行光耦隔离，并将光耦隔离后的频率信号送入ARM-FPGA系统；同时对由ARM-FPGA系统输出的预设的频率脉冲信号进行光耦隔离送给输入输出接口；

ARM-FPGA系统对光耦隔离后的频率信号进行滤波处理，得到真实频率信号，并将该真实频率信号转换为真实采样数字信号，传输到上位机进行显示；ARM-FPGA系统输出预设的频率脉冲信号到光耦隔离系统，经压频转换模块转换成电压基准信号输入高压电源。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜用的微波功率源，其特征在于：所述脉冲调制电源电路输出端连接磁控管，脉冲调制电源电路包括三相整流电路和脉冲高压功率变换器，所述三相整流电路输入端连接输入交流电，其输出端连接脉冲高压功率变换器，实现升压和脉冲调制，所述脉冲高压功率变换器输出端连接磁控管，实现输出微波脉冲功率。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜用的微波功率源，其特征在于：所述脉冲高压功率变换器包括功率取样电路、移相控制电路、控制器脉冲驱动电路和脉冲高压变换电路；所述移相控制电路输入端分别连接控制系统中上位机设置的脉冲调制信号和功率取样电路的取样反馈信号，所述移相控制电路输出端连接控制器脉冲驱动电路后连接脉冲高压变换电路。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜用的微波功率源，其特征在于：所述脉冲高压变换电路包括IGBT开关电路、变压器隔离升压电路和输出整流电路，所述IGBT开关电路连接变压器隔离升压电路，所述变压器隔离升压电路连接输出整流电路。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜用的微波功率源，其特征在于：所述正反向微波功率测量电路包括正反向微波取样隔离器，所述正反向微波取样隔离器分别连接有两个结构相同的检波电路，所述检波电路包括依次连接的微波检波模块和脉冲峰值检波模块，两所述脉 冲峰值检波模块分别连接有用于功率显示和控制的ARM-FPGA系统，微波信号输入正反向微波取样隔离器，正反向微波取样隔离器分别输出正反向微波取样信号到两路微波检波模块，

微波检波模块：分别对正反向微波取样信号进行检波，得到两路视频脉冲信号；

脉冲峰值检波模块：分别对两路视频脉冲信号进行峰值检波并保持后，得到稳定输出的两路电平信号，并将两路电平信号输入ARM-FPGA系统。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜用的微波功率源，其特征在于：所述磁控管灯丝供电电路包括电压调节可控硅U1以及与电压调节可控硅U1输出端连接的灯丝变压器T2，所述电压调节可控硅U1连接220V交流电，灯丝变压器T2与磁控管连接，控制系统还包括控制处理器，所述控制处理器与电压调节可控硅U1连接，控制处理器并且还连接有控制系统中的上位机，控制处理器根据上位机发出的微波源脉冲工作比及输出微波峰值功率输出灯丝电流基准信号到电压调节可控硅U1，从而调节电压调节可控硅U1的输出端电压。