[发明专利]光波滤波器在审
申请号: | 201910345633.9 | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN109884837A | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | 张文君;贺行政;庞昕 | 申请(专利权)人: | 昆山锐芯微电子有限公司 |
主分类号: | G02F1/21 | 分类号: | G02F1/21 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 薛异荣;吴敏 |
地址: | 215300 江苏省苏州市昆山市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 腔板 第一导电层 光波滤波器 谐振腔结构 电压源 压电层 波长漂移 几何偏差 压电层沿 腔长 施加 | ||
一种光波滤波器,包括:谐振腔结构,所述谐振腔结构包括相对的第一腔板和第二腔板,第一腔板包括第一压电层和第一导电层,第一导电层位于第一压电层沿第一腔板至第二腔板方向的两侧表面;第一电压源,第一电压源分别与第一压电层两侧的第一导电层连接,第一电压源适于施加第一调节电压至第一压电层两侧的第一导电层,以补偿所述谐振腔结构的腔长的几何偏差引起的波长漂移。所述光波滤波器的性能得到提高。
技术领域
本发明涉及滤波器领域,尤其涉及一种光波滤波器。
背景技术
滤波器是一种波长选择器件,在通信系统中有着重要的应用,如光波滤波器。
基于法布里-珀罗谐振腔的光波滤波器的工作原理为:光束进入两块平行玻璃板之间,之后,光束在两板之间发生多次的反射和入射,并且入射波和反射波会发生干涉。腔体透射率随波长的显著变化,当透射光为同相时它们有相长干涉,对应透射率的极大峰值,而当透射光反相时则对应着透射率的极小峰值。
然而,现有的光波滤波器的性能较差。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种光波滤波器,以提高光波滤波器的性能。
为解决上述问题,本发明提供一种光波滤波器,包括:谐振腔结构,所述谐振腔结构包括相对的第一腔板和第二腔板,第一腔板包括第一压电层和第一导电层,第一导电层位于第一压电层沿第一腔板至第二腔板方向的两侧表面;第一电压源,第一电压源分别与第一压电层两侧的第一导电层连接,第一电压源适于施加第一调节电压至第一压电层两侧的第一导电层,以补偿所述谐振腔结构的腔长的几何偏差引起的波长漂移。
可选的,所述第一压电层的材料包括压电陶瓷材料、压电玻璃材料或压电无机化合物材料。
可选的,所述第一导电层的材料为透明导电材料。
可选的,所述第一导电层中具有若干第一开口,所述第一开口的底部暴露出第一压电层的表面。
可选的,所述第一导电层为梳状结构。
可选的,所述第一压电层的厚度为0.1毫米~50毫米。
可选的,所述第二腔板包括第二压电层和第二导电层,第二导电层位于第二压电层沿第一腔板至第二腔板方向的两侧表面;所述光波滤波器还包括:第二电压源,第二电压源分别与第二压电层两侧的第二导电层连接,第二电压源适于施加第二调节电压至第二压电层两侧的第二导电层,第一电压源和第二电压源适于共同补偿所述谐振腔结构的腔长的几何偏差引起的波长漂移。
可选的,所述第二压电层的材料包括压电陶瓷材料、压电玻璃材料或压电无机化合物材料。
可选的,所述第二导电层的材料为透明导电材料。
可选的,所述第二导电层中具有若干第二开口,所述第二开口的底部暴露出第二压电层的表面。
可选的,所述第二导电层为梳状结构。
可选的,所述第二压电层的厚度为0.1毫米~50毫米。
与现有技术相比,本发明的技术方案具有以下优点:
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