[发明专利]光波滤波器

权利要求书

1.一种光波滤波器，其特征在于，包括：

谐振腔结构，所述谐振腔结构包括相对的第一腔板和第二腔板，第一腔板包括第一压电层和第一导电层，第一导电层位于第一压电层沿第一腔板至第二腔板方向的两侧表面；

第一电压源，第一电压源分别与第一压电层两侧的第一导电层连接，第一电压源适于施加第一调节电压至第一压电层两侧的第一导电层，以补偿所述谐振腔结构的腔长的几何偏差引起的波长漂移。

2.根据权利要求1所述的光波滤波器，其特征在于，所述第一压电层的材料包括压电陶瓷材料、压电玻璃材料或压电无机化合物材料。

3.根据权利要求1所述的光波滤波器，其特征在于，所述第一导电层的材料为透明导电材料。

4.根据权利要求1所述的光波滤波器，其特征在于，所述第一导电层中具有若干第一开口，所述第一开口的底部暴露出第一压电层的表面。

5.根据权利要求4所述的光波滤波器，其特征在于，所述第一导电层为梳状结构。

6.根据权利要求1所述的光波滤波器，其特征在于，所述第一压电层的厚度为0.1毫米～50毫米。

7.根据权利要求1所述的光波滤波器，其特征在于，所述第二腔板包括第二压电层和第二导电层，第二导电层位于第二压电层沿第一腔板至第二腔板方向的两侧表面；所述光波滤波器还包括：第二电压源，第二电压源分别与第二压电层两侧的第二导电层连接，第二电压源适于施加第二调节电压至第二压电层两侧的第二导电层，第一电压源和第二电压源适于共同补偿所述谐振腔结构的腔长的几何偏差引起的波长漂移。

8.根据权利要求7所述的光波滤波器，其特征在于，所述第二压电层的材料包括压电陶瓷材料、压电玻璃材料或压电无机化合物材料。

9.根据权利要求7所述的光波滤波器，其特征在于，所述第二导电层的材料为透明导电材料。

10.根据权利要求7所述的光波滤波器，其特征在于，所述第二导电层中具有若干第二开口，所述第二开口的底部暴露出第二压电层的表面。

11.根据权利要求10所述的光波滤波器，其特征在于，所述第二导电层为梳状结构。

12.根据权利要求7所述的光波滤波器，其特征在于，所述第二压电层的厚度为0.1毫米～50毫米。