[发明专利]一种耐挠曲疲劳带状传输线及其制程

权利要求书

1.一种耐挠曲疲劳带状传输线，其特征在于，包括依次叠压的上保护膜、上接地层、上复合金属层、上绝缘介质层、中复合金属层、下绝缘介质层、下复合金属层、下接地层和下保护膜，所述中复合金属层上形成金属线路，金属线路包括接地层，所述上复合金属层和所述下复合金属层分别通过所述上绝缘介质层和所述下绝缘介质层上的导通孔与所述接地层电连接，所述上接地层与所述上复合金属层电连接，所述下接地层与所述下复合金属层电连接；

其中，所述中复合金属层线路制程为先在75um或100um厚单层PEEK绝缘介质膜上以镍离子注入法单面制得一层十几纳米厚镍层，再在镍层上电镀5～9um厚铜，镍铜复合金属层经过常规曝光、显影、蚀刻形成所述中复合金属层线路。

2.根据权利要求1所述的一种耐挠曲疲劳带状传输线，其特征在于，所述上复合金属层、中复合金属层和所述下复合金属层的截面结构是镍层和覆盖在所述镍层上面的铜层。

3.根据权利要求2所述的一种耐挠曲疲劳带状传输线，其特征在于，所述上复合金属层的铜层厚度为3～7um，所述中复合金属层和所述下复合金属层的铜层厚度为5～9um，并且所述上复合金属层的铜层厚度要比所述中复合金属层和所述下复合金属层的铜层厚度薄。

4.根据权利要求3所述的一种耐挠曲疲劳带状传输线，其特征在于，所述下绝缘介质层和所述中复合金属层之间增设一层粘结层。

5.根据权利要求1所述的一种耐挠曲疲劳带状传输线，其特征在于，所述上接地层和所述上复合金属层之间增设一层上各向异性导电胶层，所述下接地层和所述下复合金属层之间增设一层下各向异性导电胶层。

6.根据权利要求2所述的一种耐挠曲疲劳带状传输线，其特征在于，所述镍层由镍离子注入绝缘介质表面下制得，所述铜层在所述镍层基础上以电镀制得。

7.一种耐挠曲疲劳带状传输线制程，其特征在于，包括以下步骤：

S1.提供具有接地层、高频信号线、高速信号线和地线的中复合金属层；

S2.先用黏胶或低熔点PEEK膜将下绝缘介质层一侧和中复合金属层一侧热压连接成一体，上绝缘介质层一侧和中复合金属层另一侧热压连接成一体，中复合金属层被包覆其中；

S3.使用激光烧蚀上绝缘介质层和下绝缘介质层的设定位置，形成导通孔，并用等离子体清洗导通孔；

S4.上绝缘介质层另一侧先以镍离子注入法覆盖上镍层，再电镀上铜层，形成上复合金属层，在下绝缘介质层的另一侧以同样的方式形成下复合金属层，中复合金属层的接地层分别通过导通孔与上复合金属层和下复合金属层连接；

S5.将含有各向异性导电胶、薄铜箔和绝缘保护膜的复合材料经层压贴合在上复合金属层和下复合金属层上。

8.根据权利要求7所述的一种耐挠曲疲劳带状传输线制程，其特征在于，所述S1包括以下步骤：先在75um或100um厚单层PEEK绝缘介质膜上以镍离子注入法单面制得一层十几纳米厚镍层，再在镍层上电镀5～9um厚铜，镍铜复合金属层经过常规曝光、显影、蚀刻形成中复合金属层线路。