[发明专利]一种电容器用金属化薄膜及其制作方法

权利要求书

1.一种电容器用金属化薄膜，包括基膜层，其特征在于：还包括覆盖于所述基膜层上的第一铝层、覆盖于所述第一铝层上的锌层、覆盖于所述锌层上的第二铝层及覆盖于所述第二铝层上的AL₂O₃保护层。

2.根据权利要求1所述的电容器用金属化薄膜，其特征在于：所述第一铝层的重量为所述第一铝层、锌层及第二铝层总重量的1％～2％。

3.根据权利要求1所述的电容器用金属化薄膜，其特征在于：所述锌层的重量为所述第一铝层、锌层及第二铝层总重量的90％～95％。

4.根据权利要求1所述的电容器用金属化薄膜，其特征在于：所述第二铝层的重量为所述第一铝层、锌层及第二铝层总重量的4％～8％。

5.一种电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：在真空条件下，先在基膜层上蒸镀一层铝做打底金属，形成第一铝层；然后在第一铝层上再蒸镀一层锌，形成锌层；最后在锌层上再蒸镀一层铝，形成第二铝层；第二铝层与空气接触氧化形成AL₂O₃保护层。

6.根据权利要求5所述的电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：所述第一铝层的蒸镀使用铝蒸发源，铝蒸发源采用了氮化硼蒸发舟，将8根或10根铝丝通过送丝机构送到铝舟上熔化，在真空条件下加热到1000℃～1200℃，铝蒸汽镀到基膜上。

7.根据权利要求5所述的电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：所述锌层的蒸镀使用锌蒸发源，锌蒸发源的锌料放在铁槽内，用锌炉加热至600℃～700℃，锌蒸汽通过锌喷嘴，镀到第一铝层上。

8.根据权利要求5所述的电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：所述第二铝层的蒸镀使用铝蒸发源，铝蒸发源采用了氮化硼蒸发舟，将8根或10根铝丝通过送丝机构送到铝舟上熔化，在真空条件下加热到1000℃～1200℃，铝蒸汽镀到所述锌层上。