[发明专利]反射式主动元件阵列基板及其制作方法与反射式显示设备

说明书

本发明提供一种反射式主动元件阵列基板及其制作方法与反射式显示设备。反射式主动元件阵列基板包括基板、多个主动组件、保护层以及多个金属氧化物导体层。主动组件分散地配置于基板上。保护层配置于基板上且覆盖主动组件。保护层具有多个开口，且每一开口分别暴露出相对应的主动组件的源极或漏极。金属氧化物导体层配置于基板上且覆盖保护层。每一金属氧化物导体层通过对应的开口与相对应的主动元件的源极或漏极电性连接。因此，可减少外界光线反射。

技术领域

本发明涉及一种基板及其制作方法，由其涉及一种反射式主动元件阵列基板及其制作方法与采用此反射式主动元件阵列基板的反射式显示设备。

背景技术

电泳式显示设备多为反射式显示设备，利用其内部的电泳粒子反射外界光束，进而达到显示画面的目的。目前，电泳式显示设备的主动元件阵列基板大都使用不透光的金属材质作为导电电极。金属材质的导电电极除了导电的效果之外，亦可遮光以避免主动元件因照光而有光电效应发生。然而，当显示介质层发生破洞时，金属材料的导电电极会直接反射光线，造成观看者会看到明显亮点，进而影响产品品质。

发明内容

本发明是针对一种反射式主动元件阵列基板，以金属氧化物导体层取代现有的金属材质的导电电极，具有较低的光反射率，可减少外界光线反射。

本发明是针对一种反射式主动元件阵列基板的制作方法，用以制作上述的反射式主动元件阵列基板。

本发明亦提供一种反射式显示设备，包括上述的反射式主动元件阵列基板，具有较佳的显示品质。

本发明的反射式主动元件阵列基板，其包括基板、多个主动元件、保护层以及多个金属氧化物导体层。主动元件分散地配置于基板上。保护层配置于基板上且覆盖主动元件。保护层具有多个开口，且每一开口分别暴露出相对应的主动元件的源极或漏极。金属氧化物导体层配置于基板上且覆盖保护层。每一金属氧化物导体层通过对应的每一开口与相对应的每一主动元件元件的源极或漏极电性连接。

在本发明的一实施例中，上述的每一金属氧化物导体层的材质包括氧化钼、氧化钼铌、氧化钽或氧化铝。

在本发明的一实施例中，上述的每一主动元件包括栅极、半导体通道层、栅绝缘层以及源极与漏极。栅极配置于基板上。栅绝缘层覆盖栅极且位于栅极与半导体通道层之间。源极与漏极配置于半导体信道层的同一侧，且暴露出部分的半导体通道层。

本发明的反射式主动元件阵列基板的制作方法，其包括以下步骤。提供一阵列基板。阵列基板包括基板、多个主动元件以及保护层。主动元件分散地形成在基板上，而保护层形成在基板上且覆盖主动元件。保护层具有多个开口，而每一开口分别暴露出相对应的每一主动元件的源极或漏极。将阵列基板移至反应腔室内，其中反应腔室设置有金属靶材。将反应气体通入反应腔室，以与金属靶材进行化学反应，而在阵列基板上形成多个金属氧化物导电层。金属氧化物导体层覆盖保护层，且每一金属氧化物导体层通过对应的每一开口与相对应的每一主动元件的源极或漏极电性连接。

在本发明的一实施例中，上述的金属靶材包括钼、钼铌、钽或铝，而反应气体包括氧。

在本发明的一实施例中，上述的每一主动元件包括栅极、半导体通道层、栅绝缘层以及源极与漏极。栅极配置于基板上。栅绝缘层覆盖栅极且位于栅极与半导体通道层之间。源极与漏极配置于半导体信道层的同一侧，且暴露出部分的半导体通道层。

本发明的反射式显示设备，其包括反射式主动元件阵列基板以及电泳显示薄膜。反射式主动元件阵列基板包括基板、多个主动元件、保护层以及多个金属氧化物导体层。主动元件分散地配置于基板上。保护层配置于基板上且覆盖主动元件。保护层具有多个开口，且每一开口分别暴露出相对应的每一主动元件的源极或漏极。金属氧化物导体层配置于基板上且覆盖保护层。每一金属氧化物导体层通过对应的每一开口与相对应的每一主动元件的源极或漏极电性连接。电泳显示薄膜配置于反射式主动元件阵列基板上。