[发明专利]一种去除样品表面离子损伤的方法

权利要求书

1.一种去除样品表面离子损伤的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)取抛光液，并将抛光液放置到容器中；

2)向抛光液中加入液氮，并控制抛光液的温度；

3)将时间继电器与电源连接，设置电源电压及电解抛光时间；

4)待处理样品通过时间继电器与电源的阳极相连接，电源的阴极与阴极片相连接，再将待处理样品及阴极片放入抛光液中，然后打开时间继电器的开关，实现对待处理样品的电解抛光，当电解抛光时间达到时，时间继电器自动断开，然后取出样品；

5)对步骤4)得到的样品表面进行清洗，完成样品表面离子损伤的去除；

步骤2)中控制抛光液的温度小于等于0℃；

步骤4)中的电源电压为10-20V，电解抛光时间小于等于1s；

待处理样品为厚度为100-500nm的初始透射样品或者直径小于等于1000nm的微纳尺度透射电镜样品。

2.根据权利要求1所述的去除样品表面离子损伤的方法，其特征在于，步骤1)中的容器为塑料材质的广口容器。

3.根据权利要求1所述的去除样品表面离子损伤的方法，其特征在于，步骤2)中向抛光液中加入液氮时采用多次加入的方式加入液氮。

4.根据权利要求1所述的去除样品表面离子损伤的方法，其特征在于，阴极片为不锈钢片，其中，不锈钢片的数量为两片，在电解抛光时，将两片不锈钢片与电源的阴极相连接，将待处理样品通过时间继电器与电源的阳极相连接，待处理样品位于两片不锈钢片之间，且待处理样品与不锈钢片之间的间距小于5cm。

5.根据权利要求1所述的去除样品表面离子损伤的方法，其特征在于，步骤5)中对步骤4)得到的样品表面进行清洗的过程中，将样品放置于无水乙醇中，然后将样品沿平行于样品薄区的方向进行晃动，以实现样品表面的清洗。