[发明专利]还原尾气中无定形硅的处理工艺

权利要求书

1.一种还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，包括：

吸附：喷淋氯硅烷洗涤液，吸附还原尾气中的氯硅烷气体和硅粉，得到第一固液混合物和第一气体混合物；

过滤：第一固液混合物经过滤分离得到纯净的液相氯硅烷和第二固液混合物；

分离：加热第二固液混合物得到气相氯硅烷和硅粉；

冷凝：气相氯硅烷冷凝得到氯硅烷洗涤液。

2.根据权利要求1所述的还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，所述吸附步骤具体包括：

保持喷淋洗涤装置内部温度为0-7℃；

向喷淋组件中喷淋液态氯硅烷；

向所述喷淋洗涤装置中通入所述还原尾气；

还原尾气中的氯硅烷气体冷凝液化，氯硅烷洗涤液吸附还原尾气中的硅粉、HCl和部分H₂，得到第一固液混合物和第一气体混合物；

第一固液混合物送入过滤器中。

3.根据权利要求1所述的还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，第一气体混合物送入吸附装置中回收部分氯硅烷气体后，得到氯硅烷气体和H₂混合物。

4.根据权利要求1所述的还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，所述过滤步骤具体包括：

第一固液混合物经缓冲罐缓冲后，加压泵送至过滤装置；

第一固液混合物在过滤装置内经金属过滤网过滤得到位于上层的氯硅烷液体和位于下层的第二固液混合物。

5.根据权利要求4所述的还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，所述液相氯硅烷从过滤装置顶部溢流，用于送入后系统分离。

6.根据权利要求4所述的还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，所述过滤装置内通入反冲洗气体，使所述第二固液混合物从金属过滤网上剥离后送出过滤装置；

所述反冲洗气体具体为0.7MPa氮气。

7.根据权利要求4所述的还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，

将所述金属过滤网上附着的所述第二固液混合物剥离去除氯硅烷，得到洁净硅粉。

8.根据权利要求1所述的还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，所述分离步骤具体包括：

向热交换组件中通入热源，第二固液混合物受热分离得到气相氯硅烷和硅粉；

所述热源的温度为40-100℃。

9.根据权利要求1所述的还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，所述冷凝步骤具体包括：

氯硅烷气体送入冷凝器，所述冷凝器内通入有温度为0-7℃的冷凝液，所述氯硅烷气体冷凝得到氯硅烷洗涤液。

10.根据权利要求9所述的还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，将所述冷凝步骤获得的液相氯硅烷用于所述吸附步骤。