[发明专利]一种提高三维NAND闪存存储器耐久性的方法在审

专利信息
申请号: 201910293996.2 申请日: 2019-04-12
公开(公告)号: CN110112135A 公开(公告)日: 2019-08-09
发明(设计)人: 陈杰智;曹芮;杨文静 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: H01L27/1157 分类号: H01L27/1157;H01L21/324
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 陈桂玲
地址: 250199 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 三维 编程操作 擦除状态 高温退火 擦除 退火 修复 存储单元 数据损坏 用户设定 存储器 错误率 减小 写入 架构
【权利要求书】:

1.一种提高三维NAND闪存存储器耐久性的方法,其特征是:

基于三维架构NAND闪存存储器,对于进行多次擦除和编程操作的器件,当BER到达用户设定的阈值后,将存储器最后保持为擦除状态,再对器件进行退火。

2.根据权利要求1所述提高三维NAND闪存存储器耐久性的方法,其特征是:所述BER的检测是对NAND矩阵中的单个NAND器件进行检测,或者是对单个器件中的一个Block进行检测。

3.根据权利要求1所述提高三维NAND闪存存储器耐久性的方法,其特征是:所述退火是在150℃-250℃的温度下保持1-72小时,之后在常温下冷却。

4.根据权利要求1所述提高三维NAND闪存存储器耐久性的方法,其特征是:所述退火是在180-220度保持2小时-20小时,之后在常温下冷却。

5.根据权利要求1所述提高三维NAND闪存存储器耐久性的方法,其特征是:所述退火条件是在200度保持3个小时,之后在常温下冷却。

6.根据权利要求1所述提高三维NAND闪存存储器耐久性的方法,其特征是:所述退火通过以下途径实现:通过芯片下方的电路对检测后的Block所在的芯片进行退火,或者是将检测后的Block所在的芯片从NAND矩阵中取出进行退火。

7.根据权利要求1所述提高三维NAND闪存存储器耐久性的方法,其特征是:将存储器最后保持为擦除状态时,如果在擦除之前要对之前存储的信息进行保存,将信息先复制到相邻的NAND闪存存储器或相邻的Block中。

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