[发明专利]有机膜形成装置

权利要求书

1.一种有机膜形成装置，具备：

腔，可维持比大气压更被减压的环境；

排气部，可对所述腔的内部进行排气；

第1加热部，设置在所述腔的内部，具有至少1个第1加热器；

第2加热部，设置在所述腔的内部，具有至少1个第2加热器，设置成与所述第1加热部相对；

至少1个第1均热板，设置在所述第1加热部与所述第2加热部之间；

至少1个第2均热板，设置在所述第1均热板与所述第2加热部之间；

处理区域，位于所述第1均热板与所述第2均热板之间，支撑有具有基板与含有涂布于所述基板的上面的有机材料和溶剂的溶液的工件；

侧部均热板，设置在所述处理区域的侧部；

及第1反射板，设置在所述腔的内部，围住包含所述第1加热部、所述第2加热部、所述第1均热板、所述第2均热板、所述侧部均热板和所述处理区域的区域，其特征为，

所述第1均热板及所述第2均热板向所述处理区域侧放射从所述第1加热器及所述第2加热器射入的热，所述第1反射板向所述处理区域侧反射从所述第1加热器及所述第2加热器射入的热。

2.根据权利要求1所述的有机膜形成装置，其特征为，

所述第1均热板的所述第1加热器侧的面、所述第2均热板的所述第2加热器侧的面的放射率，高于所述第1反射板的所述第1加热器侧的面、所述第1反射板的所述第2加热器侧的面的放射率，

所述第1反射板的所述第1加热器侧的面、所述第1反射板的所述第2加热器侧的面的反射率，高于所述第1均热板的所述第1加热器侧的面、所述第2均热板的所述第2加热器侧的面的反射率。

3.根据权利要求1或2所述的有机膜形成装置，其特征为，在所述第1反射板与所述腔的内壁之间，还具备与所述第1反射板隔着规定的间隔设置的第2反射板。

4.根据权利要求1或2所述的有机膜形成装置，其特征为，所述第1均热板及所述第2均热板接触连接于所述侧部均热板。

5.根据权利要求1或2所述的有机膜形成装置，其特征为，所述反射板上设置有线状的凹部或凸部。

6.根据权利要求5所述的有机膜形成装置，其特征为，所述线状的凹部或凸部的截面呈V字形状。

7.根据权利要求1或2所述的有机膜形成装置，其特征为，通过压花加工相互固定所述第1反射板与第2反射板。