[发明专利]一种掩膜板及OLED面板的制备方法有效
| 申请号: | 201910290791.9 | 申请日: | 2019-04-11 |
| 公开(公告)号: | CN110095934B | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
| 发明(设计)人: | 李文杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00;H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掩膜板 oled 面板 制备 方法 | ||
本发明公开了一种掩膜板及OLED面板的制备方法,掩膜板用以去除像素单元的多余光阻,像素单元具有一主体区域和连接于主体区域的拐角区域;所述掩膜板包括漏光区和遮光区,去除像素单元的多余光阻时,主体区域被所述遮光区完全挡述,拐角区域裸露于漏光区中。本发明的有益效果在于提供一种掩膜板及OLED面板的制备方法在掩膜板上设置与像素单元主体区域宽度相等的遮光区,和与所述遮光区间隔设置的漏光区,所述遮光区对应所述主体区域,像素单元的其余部分如拐角区域全部裸露于漏光区中,在紫外光照射下,所述拐角区域的光阻被紫外光照射分解,提高所述拐角区域墨水的铺展性,提高OLED面板的性能。
技术领域
本发明涉及显示领域,特别涉及一种掩膜板及OLED面板的制备方法。
背景技术
OLED技术在显示领域、照明领域、智能穿戴等领域有广泛的应用。
随着科学技术的发展,OLED技术成为是第三代显示技术的重要候选者,用于手机、电脑、电视等消费类电子。其基本显示原理:在电场的驱动下,通过载流子的注入和复合使得有机材料发光。可以通过RGB像素独立发光、白光OLED结合彩色滤光膜或者蓝光OLED结合光色转换来实现全彩显示。OLED显示技术可以使屏幕更轻薄、其自发光的特性在野外的傍晚也可以实现较高的对比度,并且能够在不同材质的基板上制造,可以做成柔性显示器。
绿色环保和高效节能成为人们的生活趋势,因此OLED被认为是未来的新兴照明技术。OLED的发光材料为有机半导体,可以控制其发光层的材料性质来产生不同波长的光。OLED是发光柔和的平面光源,其照明可实现轻薄化,如果实在柔性衬底上制作的OLED,则可实现大面积、可弯曲的光源,在家居装饰等方面有潜在的应用。
智能穿戴市场将会是OLED技术发展的一个重要方向。柔性AMOLED(有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)体积轻薄、可弯曲以及便于携带的性质决定了其在穿戴设备上将有更广的应用空间。可将OLED显示屏配备于手环或手表上,既可以实现与手腕完美贴合,同时还可以实现打电话、上网等功能。
此外,OLED在车载音响显示方面、智能家居、航天科技等方面均具有潜在的应用。
有机发光器件OLED(Organic Light Emitting Diode)以其良好的自发光特性、高的对比度、快速响应以及柔性显示等优势,得到了广泛的应用。传统的OLED采用真空蒸镀技术,目前可实现量产化。但是该技术需要采用精细掩模版,导致材料利用率低;另外,如果对于大尺寸面板,掩模版的制备工艺饱受挑战。近些年,印刷显示技术(喷墨打印,Ink jetprinting,IJP)发展迅速。喷墨打印是OLED实现大尺寸以及低成本生产的最佳途径。
采用喷墨打印制备OLED,需要对像素定义层(Bank)以及衬底电极进行修饰,使得ink能够准确落入pixel内,并且无溢流现象发生。因此,喷墨打印关键技术之一是使得像素定义层表面具有一定疏水性,可将墨水ink限制在像素定义层内。像素定义层可使用有机光阻,光阻成分中具有输水性官能团等等。
综上所述,存在的问题:喷墨打印OLED所采用的基板像素定义层表面为疏水性,采用有机含有疏水性成分的光阻制备图案化的像素定义层,主要采取的制程有曝光和显影,在曝光的过程中会存在阴影影响,可能在ITO表面存在一定的光阻残留;在显影的过程中没有反应的光阻会溶解在显影液中被洗掉,如果没有被充分清洗,ITO表面附着有微量异物;ITO表面残留的异物会造成墨水铺展差,因此器件会出现漏电流等,总之器件特性会变差。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提供了一种掩膜板及OLED面板的制备方法,用以解决现有技术中像素单元内容易残留光阻,从而影响后续的喷墨打印墨水的延展性问题。
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