[发明专利]一种掩膜板及OLED面板的制备方法有效
| 申请号: | 201910290791.9 | 申请日: | 2019-04-11 |
| 公开(公告)号: | CN110095934B | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
| 发明(设计)人: | 李文杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00;H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掩膜板 oled 面板 制备 方法 | ||
1.一种OLED面板的制备方法,其特征在于,包括
S1)在阵列基板上制作像素限定层;所述像素限定层的材料包括含疏水性成分的有机光阻物质,所述像素限定层中具有阵列排布的像素单元;所述像素单元具有一主体区域和连接于主体区域的拐角区域;
S2) 提供一掩膜板,所述掩膜板包括漏光区与所述漏光区间隔设置的遮光区,将所述掩膜板置于所述像素限定层上方,以使所述遮光区完全遮挡所述主体区域,所述拐角区域裸露于漏光区;
S3) 提供光源,光照所述掩膜板,所述光源发出的光透过所述漏光区照射在所述拐角区域,以消除所述拐角区域的所述有机光阻物质。
2.根据权利要求1所述的OLED面板的制备方法,其特征在于,
所述像素限定层与所述基板之间设有一层导电层,所述导电层材料为氧化铟锡。
3.根据权利要求1所述的OLED面板的制备方法,其特征在于,
所述光源为紫外光,其波长为172nm。
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