[发明专利]面板处理设备及其方法以及多段吸附装置

说明书

一种面板处理设备包括至少一距离传感器及多段吸附装置。所述距离传感器用以感测面板的翘曲轮廓。所述多段吸附装置具有多个吸附面，所述吸附面的高度依据所述距离传感器所测得的所述翘曲轮廓调整，且所述吸附面用以吸住且整平面板。

技术领域

本发明涉及一种面板处理设备与方法，且更具体而言，涉及面板整平的面板处理设备与面板处理方法及多段吸附装置。

背景技术

翘曲面板在不同面板工艺中皆会造成不同程度的翘曲，且于各移载过程中，其一次性吸附动作还会对面板内部结构造成破坏(因一次性吸附会使得面板瞬间应力过大)，进而导致面板良率及产能下降。此外，已对位完成的面板移载到处理设备上的承接区后，都必需重新压合、吸附及对位一次，除造成面板良率变差外，还会使得面板产能下降。

发明内容

在一实施例中，一种面板处理设备包括至少一距离传感器及多段吸附装置。所述距离传感器用以感测面板的翘曲轮廓。所述多段吸附装置具有多个吸附面，所述吸附面的高度依据所述距离传感器所测得的翘曲轮廓调整，且所述吸附面用以吸住且整平所述面板。

在一实施例中，一种多段吸附装置具有多个吸附面，所述吸附面的高度可调整。

在一实施例中，一种面板处理方法包括：提供至少一距离传感器及多段吸附装置，所述多段吸附装置具有多个吸附面；利用所述距离传感器感测面板的翘曲轮廓；及依据所述距离传感器所测得的翘曲轮廓调整所述多段吸附装置的所述吸附面的高度。

附图说明

当结合附图阅读时，从以下详细描述易于理解本发明的一些实施例的方面。应注意，各种结构可能未按比例绘制，且各种结构的尺寸可出于论述清晰起见任意增大或减小。

图1显示本发明面板处理设备的立体示意图。

图2显示本发明面板处理设备的结构侧视图。

图3显示本发明面板处理设备的应用架构图。

图4显示本发明面板处理设备的多段吸附装置、压合框、压框装置及控制器的分解视图。

图5显示本发明面板处理设备的多段吸附装置、压合框、压框装置及控制器的组合视图。

图6显示本发明多段吸附装置的立体示意图。

图7显示本发明多段吸附装置于不同视角(与图6相反的视角)的立体示意图。

图8显示本发明多段吸附装置的各层吸附盘的布置示意图。

图9显示本发明多段吸附装置去除外层吸附盘后的立体示意图。

图10显示本发明多段吸附装置设置于多轴平移台上的立体示意图。

图11显示本发明多段吸附装置与压合框的布置示意图。

图12显示本发明面板处理方法中的移载装置设置距离传感器及承载面板的示意图。

图13显示本发明面板处理方法中的移载装置将面板移载到多段吸附装置的上方的示意图。

图14显示本发明面板处理方法中的多段吸附装置调整吸附面高度的示意图。

图15显示本发明面板处理方法中的多段吸附装置吸住面板的示意图。

图16显示本发明面板处理方法中的多段吸附装置整平面板的示意图。

图17显示本发明面板处理方法中的面板对位设置于下压框的示意图。

图18显示本发明面板处理方法中的上压框结合于下压框的示意图。

图19显示本发明面板处理方法中的多段吸附装置脱离整平后的面板的示意图。