[发明专利]一种脉冲激光制备纳米尺度多孔结构生物涂层的方法

权利要求书

1.一种脉冲激光制备纳米尺度多孔结构生物涂层的方法，其特征在于，该方法的具体步骤为：

步骤1，将占反应物总质量百分含量为90％～99％的生物陶瓷粉末、占反应物总质量百分含量为1％～10％的氟化钙进行混合，干燥后制备靶材；

步骤2，将基底和靶材放置于脉冲激光沉积装置中样品台和靶材台上进行固定，调整激光强度、激光与靶材位置、靶材与基底位置；

步骤3，对脉冲激光沉积装置的腔体进行抽真空处理，保持高真空度，然后打开靶材旋转、开启激光器，调整激光强度制备涂层，沉积20～60min，取出后进行热处理获得纳米尺度多孔结构涂层。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的生物陶瓷粉末为羟基磷灰石或磷酸三钙中至少一种，粒径为3～10μm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的氟化钙为生物级氟化钙，颗粒大小为10μm～20μm之间。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，激光输出能量为30J～35J之间，激光出口到靶材的距离为5～12cm之间，基底到靶材的距离为5～10cm，激光与靶材入射角为15～30°之间，等离子体羽辉与基底夹角为45°～75°。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，激光器为白俄罗斯洛蒂斯有限公司的Q开关钇铝石榴石晶体激光器，型号为LS-2147/2 SE。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，激光器所用激光波长为1064nm，激光介质为YAG:Nd3+。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，腔体真空度维持在10^-3～10^-6Pa，靶材旋转速度为20rpm～30rpm。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，纳米尺度多孔结构涂层进行热处理具体为，在管式炉中热处理温度为700℃～750℃在真空或氩气氛围中进行退火处理。