[发明专利]极板间距调节装置及调节设备在审
| 申请号： | 201910275215.7 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110117781A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 伍强;翟伟辰;蒋冬冬;李荻;李昕然 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/52 | 分类号： | C23C16/52;C23C16/44 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单元极板 连接装置 间距调节装置 上极板 下极板 极板 单元驱动装置 调节设备 电场 上下调节 成膜 静止 体内 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种极板间距调节装置，其特征在于，包括：
上极板、与所述上极板相对的下极板、连接装置以及单元驱动装置；
其中，所述连接装置连接所述下极板与所述单元驱动装置；
所述下极板包括复数个单元极板，所述单元极板在静止时位于同一平面内，每个所述单元极板对应连接所述连接装置，所述单元极板通过所述连接装置上下调节。
2.根据权利要求1所述的极板间距调节装置，其特征在于，还包括加热装置，所述加热装置设置在所述单元极板内。
3.根据权利要求2所述的极板间距调节装置，其特征在于，所述加热装置为可控式电阻丝。
4.根据权利要求1所述的极板间距调节装置，其特征在于，所述连接装置为伸缩杆或弹性装置。
5.根据权利要求1所述的极板间距调节装置，其特征在于，所述单元极板的截面为矩形。
6.根据权利要求1所述的极板间距调节装置，其特征在于，每个所述单元极板接地。
7.根据权利要求1所述的极板间距调节装置，其特征在于，所述下极板的上表面积不小于所述上极板的下表面积。
8.根据权利要求1所述的极板间距调节装置，其特征在于，所述单元驱动装置用于控制所述连接装置。
9.根据权利要求1所述的极板间距调节装置，其特征在于，每个所述单元极板的上表面积相同。
10.一种调节设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的极板间距调节装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910275215.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
