[发明专利]压电传感器制作方法

说明书

一种压电传感器，包括一主干部、一压电材料层以及一电极层，所述主干部为柱状或锥状，所述主干部为弹性材料，所述压电材料层设置于所述主干部的外表面，所述压电材料层包含压电材料，所述电极层设于所述压电材料层远离所述主干部一侧。本发明还提供应用该压电传感器的电子装置及高压电传感器的制作方法。

技术领域

本发明涉及微型电子传感器，尤其涉及压电传感器及其制作方法及应用其的电子装置。

背景技术

机器人和假肢变得和人类越来越相似，越来越逼真，电子皮肤的加入，有助提高机器人和假肢的应用性，但是这种“无毛”的皮肤还不能完全覆盖人类所具有的触觉功能。例如，它们无法感知微风，但人类皮肤上的汗毛，它覆盖了我们人体95％的部位，却能够帮助我们感知到最轻微的风。因此，有必要提供一种类似于人类“汗毛”的微型电子传感器，例如压电传感器。现有的压电型的微型电子传感器由于体积较小往往无法实现量产，如何提供一种压电传感器及其量产制作工艺是本领域技术人员需要考虑的。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种稳定性高、功能性强其适用于量产的压电传感器及其制作方法。

一种压电传感器，包括一主干部、一压电材料层以及一电极层，所述主干部为柱状或锥状，所述主干部为弹性材料，所述压电材料层设置于所述主干部的外表面，所述压电材料层包含压电材料，所述电极层设于所述压电材料层远离所述主干部一侧。

于一实施例中，所述压电材料层的至少部分围绕形成一封闭的圆形或椭圆形。

于一实施例中，所述压电材料层的至少部分表面未被所述电极层覆盖。

于一实施例中，所述压电材料层被所述电极层覆盖的区域为极化区域，所述压电材料层未被所述电极层覆盖的区域为非极化区域，所述压电材料层包括多个相互间隔设置的非极化区域。

本发明还提供一种电子装置，所述电子装置包括一主体以及设置于所述主体上并与所述主体电性连接的多个压电传感器，所述压电传感器为前述的压电传感器。

本发明还提供一种压电传感器的制作方法。

一种压电传感器的制作方法，包括如下步骤：

提供一机台，所述机台包括一容置结构，所述容置结构包括相邻的第一容置腔及第二容置腔，所述第二容置腔中设置有熔融状态的压电材料；

提供一主干部，所述主干部为柱状或锥状，将所述主干部的一端设置于所述第一容置腔中，将所述主干部由所述第一容置腔转移至所述第二容置腔，使所述熔融状态的压电材料附着于所述主干部的外表面；

将附着有所述熔融状态的压电材料的所述主干部转移至所述第二容置腔外部，使所述熔融状态的压电材料凝固形成一压电材料层；以及

在所述压电材料层表面的至少部分形成一电极层。

于一实施例中，还包括如下步骤：将所述主干部通电，所述电极层接地，对所述主干部持续施加电压，随后停止施加电压并使所述主干部降温。

于一实施例中，还包括如下步骤：将所述主干部裁切为多个小段的主干部，使每个所述小段的主干部外表面均设置有所述压电材料层，使所述压电材料层远离所述主干部的表面设置有所述电极层。

于一实施例中，在所述压电材料层表面形成一层导电材料层，使所述导电材料层固化形成所述导电层。

于一实施例中，所述压电材料层的表面形成有多个相互间隔设置的电极层。

本发明的压电传感器，其具有较小的体积使其可以作为模拟人类毛发的微型电子传感器，且本发明的压电传感器结构稳定、功能性强且适用于量产。

附图说明

图1为本发明一实施例的压电传感器的立体结构示意图。