[发明专利]压电传感器制作方法有效

专利信息
申请号: 201910265611.1 申请日: 2019-04-03
公开(公告)号: CN109932106B 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 江明达;甘旻谕;马梦竹;丁欢;陈右儒 申请(专利权)人: 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司
主分类号: G01L1/16 分类号: G01L1/16;G01L5/00
代理公司: 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 代理人: 杨冬梅;张行知
地址: 611730 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 压电 传感器 制作方法
【权利要求书】:

1.一种压电传感器的制作方法,包括如下步骤:

提供一机台,所述机台包括一容置结构,所述容置结构包括相邻的第一容置腔及第二容置腔,所述第二容置腔中设置有熔融状态的压电材料;

提供一主干部,所述主干部为柱状或锥状,将所述主干部的一端设置于所述第一容置腔中,将所述主干部由所述第一容置腔转移至所述第二容置腔,使所述熔融状态的压电材料附着于所述主干部的外表面;

将附着有所述熔融状态的压电材料的所述主干部转移至所述第二容置腔外部,使所述熔融状态的压电材料凝固形成一压电材料层;

在所述压电材料层表面的至少部分形成一电极层;

将所述主干部通电,使所述电极层具备接地电压,对所述主干部持续施加电压,随后停止施加电压并使所述主干部降温;以及

将所述主干部裁切为多个小段的主干部,使每个所述小段的主干部外表面均设置有所述压电材料层,使所述压电材料层远离所述主干部的表面设置有所述电极层。

2.如权利要求1所述的压电传感器的制作方法,其特征在于,在所述压电材料层表面形成一层导电材料层,使所述导电材料层固化形成所述电极层。

3.如权利要求2所述的压电传感器的制作方法,其特征在于,所述压电材料层的表面形成有多个相互间隔设置的电极层。

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