[发明专利]一种直写光刻机吸盘压板装置

说明书

本发明涉及一种直写光刻机吸盘压板装置，包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构。固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板。移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆。前挂板组件和后挂板组件均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸。压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。本发明能够将翘曲的PCB板材压平，使PCB板材可以正常生产、曝光，提高光刻机的良率和实用性，降低对PCB板材平整度的要求。

技术领域

本发明涉及直写光刻机吸盘技术领域，具体涉及一种直写光刻机吸盘压板装置。

背景技术

直写光刻机吸盘是光刻机的重要组成部分。吸盘的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素对PCB制版的实际生产制造有着重要影响。

在使用直写光刻机进行PCB制版时，由于光刻机自身焦深有限，所以都会要求曝光面有较高的平面度。除了对吸盘等有较高的平面要求外，对PCB板材也有平面度要求。但是由于种种原因，PCB板材或多或少会有边缘翘曲问题，导致仅仅依靠吸盘的吸附力无法将PCB板材吸平。

发明内容

本发明的目的在于提供一种直写光刻机吸盘压板装置，该装置能够将翘曲的PCB板材压平，使PCB板材可以正常生产、曝光，提高光刻机的良率和实用性，降低对PCB板材平整度的要求。

为实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：

一种直写光刻机吸盘压板装置，包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构。

具体地说，所述固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板。

所述移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆；所述前挂板组件和后挂板组件的结构相同，均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸；所述压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。

进一步的，所述第一气缸的进气口和出气口处分别安装有一第一接头。

进一步的，所述挂板的外壁上安装有导轨组件；所述导轨组件包括安装在挂板外壁上的导轨以及与导轨滑动配合的滑块。

进一步的，所述滚珠丝杠的两端分别通过丝杠固定侧支座和丝杠支撑侧支座安装在挂板的外壁上，且滚珠丝杠的螺杆的左端通过联轴器与电机的输出轴相连。

进一步的，所述第二气缸的进气口和出气口处分别设有一与气管相连的第二接头。

进一步的，所述挂板左右两端的内壁上分别安装有一传感器。

进一步的，所述挂板外壁上安装有拖链；所述拖链的两端分别通过拖链前支撑和拖链后支撑安装在挂板上；所述挂板外壁上还安装有气管压板。

进一步的，所述导轨的左右两端分别设有一导轨挡块；所述导轨挡块安装在挂板的外壁上。

进一步的，所述滑块上安装有连接件；所述连接件的一端与滚珠丝杠的螺母相连，另一端与第二气缸的底部相连。

进一步的，所述连接件上设有感应片。

由以上技术方案可知，本发明能够将翘曲的PCB板材压平，使PCB板材可以正常生产、曝光，提高光刻机的良率和实用性，降低对PCB板材平整度的要求。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的俯视图；