[发明专利]一种直写光刻机吸盘压板装置在审
| 申请号： | 201910262132.4 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN109856928A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 胡刚 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸盘 前挂板组件 后挂板 气缸 直写光刻机 滚珠丝杠 压板装置 移动压杆 左端部 挂板 压杆 电机 螺母 气缸活塞杆 输出轴相连 对称设置 光刻机 活塞杆 平整度 良率 翘曲 外壁 压板 压平 曝光 贯穿 生产 | ||
1.一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构；
所述固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板；
所述移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆；所述前挂板组件和后挂板组件的结构相同，均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸；所述压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。
2.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述第一气缸的进气口和出气口处分别安装有一第一接头。
3.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述挂板的外壁上安装有导轨组件；所述导轨组件包括安装在挂板外壁上的导轨以及与导轨滑动配合的滑块。
4.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述滚珠丝杠的两端分别通过丝杠固定侧支座和丝杠支撑侧支座安装在挂板的外壁上，且滚珠丝杠的螺杆的左端通过联轴器与电机的输出轴相连。
5.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述第二气缸的进气口和出气口处分别设有一与气管相连的第二接头。
6.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述挂板左右两端的内壁上分别安装有一传感器。
7.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述挂板外壁上安装有拖链；所述拖链的两端分别通过拖链前支撑和拖链后支撑安装在挂板上；所述挂板外壁上还安装有气管压板。
8.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述导轨的左右两端分别设有一导轨挡块；所述导轨挡块安装在挂板的外壁上。
9.根据权利要求3所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述滑块上安装有连接件；所述连接件的一端与滚珠丝杠的螺母相连，另一端与第二气缸的底部相连。
10.根据权利要求9所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述连接件上设有感应片。
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