[发明专利]集成电路光学芯片光圈测试方法有效

专利信息
申请号: 201910251137.7 申请日: 2019-03-29
公开(公告)号: CN110031188B 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 王华;张志勇;邓维维;余琨;季海英;罗斌 申请(专利权)人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02;G01R31/303;G01N21/95
代理公司: 上海海贝律师事务所 31301 代理人: 范海燕
地址: 201203 上海市浦东新区中国(*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 集成电路 光学 芯片 光圈 测试 方法
【权利要求书】:

1.一种集成电路光学芯片光圈测试方法,其特征在于:

对抓取到的图像阵列按照圆的概念进行处理,处理的方法即是通过半径来划分,得到一个一个的圆形图案,按照坐标进行重构为另外的一个二维数组,然后对得到的数组进行相应的运算,最终得到需要的值;

具体如下步骤进行:

1)抓取到图像,将图像按照X、Y坐标排列成二维阵列;

2)根据待测阵列的尺寸,以阵列的行Y、列X值小的一半为光圈的最大半径R;

3)以原图像中心坐标为圆心,坐标00,将原图像进行转换;

4)从圆心为坐标中心,半径为1开始,查找在圆半径上的坐标;

5)根据选取的坐标以R为半径重新构成一个二维数组;

6)按照行数组求取每个数组中所有坐标对应像素的均值;

7)将得到的均值转换为一维数组,M[]=[M1,M2,M3……MN];

8)将一维数组M中元素按照相邻相减的原则进行运算;

X1=M2-M1;

X2=M3-M2;

XN-1=MN-MN-1

通过运算后得到一维数组X[]=[X1,X2……XN-1];

9)求取数组X绝对值最大值;

将绝对值最大值与需要进行光圈判断的标准进行比较,超过标准值即判断为光圈测试失效,否则即为合格。

2.如权利要求1所述的集成电路光学芯片光圈测试方法,其特征在于:3)步骤,构成左-80、0,中心0、0,右80、0,上0、80,下0、-80的一个圆。

3.如权利要求2所述的集成电路光学芯片光圈测试方法,其特征在于:4)步骤,查找方式如下:

R=1,2,3,4……N;

R=1时,以R为半径,X,Y坐标取最接近半径R的坐标。

4.如权利要求1-3中任一项所述的集成电路光学芯片光圈测试方法,其特征在于,5)步骤构成一个二维数组,方式如下:

Array[R=1]=[(1,0),(0,1),(-1,0),(0,-1)]

Array[R=2]=[(2,0),(2,1),(1,2),(0,2),(-1,2),(-2,1),(-2,0),(-2,-1),(-1,-2),(0,-2),(1,-2),(2,-1)]

Array[R=N]=[(),(),()…]。

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