[发明专利]一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置

说明书

本发明公开的一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，包括上下相对设置的下转盘和上转盘，下转盘的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿U型通孔垂直方向设置有下轴承，下轴承上连接下传动轴，每个下传动轴下端嵌套有小齿轮，小齿轮啮合在位于下转盘下方中心位置的大齿轮上；下传动轴上连接有嵌套设置在工件转盘上的上传动轴，工件转盘上设置有工件座，工件座下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮，上转盘和下转盘之间固定有一圈均匀分布的支撑柱，支撑柱位于下传动轴或上传动轴的内侧，每个支撑柱上还设置有拨杆架，拨杆架一端与自转齿轮相接触。该装置成功解决了传统公转和自转装置结构复杂、高温下转架转速不平稳的技术难题。

技术领域

本发明属于高真空电弧离子镀装置技术领域，涉及一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置。

背景技术

高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置是一种被用于装夹刀具的运动机构，该运动机构通过变频电机驱动转动，从而实现工件的公转和自转。运动机构的运动方式通常为二重和三重运动，用于高真空镀膜机的运动机构，主要由动力传动齿轮、上齿轮、下齿轮支承件、下齿轮和下齿轮支承件等部件组成，该运动机构主要通过齿轮的啮合来实现工件稳定的公转和自转，镀膜时，通过变频电机的转动带动上齿轮的齿轮转动即实现了工件的公转，而通过下齿轮的转动，可实现工件的自转，但是，在对工具进行薄膜制备时，需要对工具进行加热，加热温度一般为400℃至500℃，在此高温下，齿轮转动容易出现卡顿现象，运动机构无法正常工作，齿轮之间的摩擦阻力越来越大，磨损严重，最后出现运动机构卡死的现象，运动机构使用寿命缩短，使得工件的镀膜时间不一致，对薄膜质量产生严重的影响，并且，近年来工件形状越来越复杂，对镀膜工艺提出了新的要求，镀膜工艺上希望运动机构能够定点转动，现有多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置满足不了上述工具镀的工艺要求，所以，需要一种结构简单且能提供多种运行模式的工件镀膜转架装置。

其中，公布号为CN103590006 A，公布日为2014.02.19的中国专利公布了一种多功能真空镀膜机转架的结构，该结构采用多个轴承和齿轮的传动及齿轮的啮合来实现工件的公转和自转，结构复杂，维修困难；并且，采用多弧离子镀膜机进行工具镀膜时，需要对工具进行加热，在加热的情况下，齿轮啮合容易出现咬死现象，使得转架转动不平稳甚至停止转动，薄膜镀制时间不均匀，这将影响整个薄膜质量。为此，我们提出一种新的高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置。

发明内容

本发明的目的是提供一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，解决现有技术中存在的齿轮卡死和镀膜时间不一致的问题。

本发明所采用的技术方案是，一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，包括上下相对设置的下转盘和上转盘，下转盘的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿U型通孔垂直方向设置有下轴承，下轴承上连接下传动轴，每个下传动轴下端嵌套有小齿轮，小齿轮啮合在位于下转盘下方中心位置的固定的大齿轮上；下传动轴上连接有上传动轴，上传动轴上部嵌套设置在工件转盘上；工件转盘上设置有若干个均匀分布的工件座，工件座下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮，自转齿轮通过从下而上穿过下自转盘的螺钉与工件座固定；

上转盘和下转盘之间固定有一圈均匀分布、竖直放置的支撑柱，支撑柱位于下传动轴或上传动轴的内侧，每个支撑柱上还设置有拨杆架，拨杆架一端与自转齿轮相接触；

下传动轴和上传动轴之间采用连接器固定连接。

本发明的特点还在于，

小齿轮通过螺钉将小齿轮安装在传动轴上。

下传动轴通过固定在下转盘U型通孔上的下轴承安装在下转盘上。

连接器为插拔式连接器。

上传动轴和上转盘之间通过上轴承连接。

支撑柱下端穿过位于下转盘上的大螺纹孔固定，支撑柱上端穿过位于上转盘上的螺母固定。

本发明的有益效果是，