[发明专利]一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置

权利要求书

1.一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，其特征在于，包括上下相对设置的下转盘(15)和上转盘(11)，所述下转盘(15)的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿所述U型通孔垂直方向设置有下轴承(4)，下轴承(4)上连接下传动轴(3)，每个所述下传动轴(3)下端嵌套有小齿轮(2)，所述小齿轮(2)啮合在位于下转盘(15 )下方中心位置固定的大齿轮(1)上；所述下传动轴(3)上连接有上传动轴(9)，所述上传动轴(9)上部嵌套设置在工件转盘(7)上；所述工件转盘(7)上设置有若干个均匀分布的工件座(8)，所述工件座(8)下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮(6)，所述自转齿轮(6)通过从下而上穿过工件转盘(7)的螺钉与工件座(8 )固定；

所述上转盘(11)和下转盘(15)之间固定有一圈均匀分布、竖直放置的支撑柱(10)，所述支撑柱(10)位于下传动轴(3)或上传动轴(9)的内侧，每个所述支撑柱(10)上还设置有拨杆架(14)，所述拨杆架(14)一端与自转齿轮(6)相接触；

所述下传动轴(3)和上传动轴(9)之间采用连接器(5)固定连接；

所述小齿轮(2)通过螺钉将小齿轮(2)安装在传动轴(3)上；

所述下传动轴(3)通过固定在下转盘(15)U型通孔上的下轴承(4)安装在下转盘(15)上；

所述连接器(5)为插拔式连接器；

所述上传动轴(9)和上转盘(11)之间通过上轴承(12)连接。

2.根据权利要求1所述的一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，其特征在于，所述支撑柱(10)下端穿过位于下转盘(15)上的大螺纹孔固定，支撑柱(10)上端穿过位于上转盘(11)上的螺母固定。