[发明专利]移载装置及移载方法

说明书

本发明提供一种移载装置及移载方法。该移载装置包括支撑平台以及设于所述支撑平台上方的移载单元；所述移载单元包括设于所述支撑平台上方的吸附平台以及分别与所述吸附平台连接的移动平台和至少一条气体管路，所述吸附平台中设有多个气孔，所述支撑平台用于承载显示面板，所述气体管路用于对气孔抽真空以吸附显示面板，所述移动平台用于移动吸附平台以搬运显示面板，可以防止在显示面板的搬运过程中对显示面板造成吸附形变，从而提升产品良率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种移载装置及移载方法。

背景技术

有机发光二极管显示装置(Organic Light Emitting Display，OLED)具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。

OLED按照驱动方式可以分为无源矩阵型OLED(Passive Matrix OLED，PMOLED)和有源矩阵型OLED(Active Matrix OLED，AMOLED)两大类，即直接寻址和薄膜晶体管矩阵寻址两类。其中，AMOLED具有呈阵列式排布的像素，属于主动显示类型，发光效能高，通常用作高清晰度的大尺寸显示装置。

OLED器件通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层、及设于电子注入层上的阴极。OLED器件的发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。具体的，OLED器件通常采用氧化铟锡(ITO)电极和金属电极分别作为器件的阳极和阴极，在一定电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层和空穴传输层，电子和空穴分别经过电子传输层和空穴传输层迁移到发光层，并在发光层中相遇，形成激子并使发光分子激发，后者经过辐射弛豫而发出可见光。

然而因为技术不成熟，导致OLED产品的良率低，成本较高，而生产过程中制程条件与OLED良率的相关性很大，然而，除制程条件影响OLED良率外，设备机构对良率亦有一定影响。现有技术中的移载装置如附图1所示，采用多个吸嘴100吸附OLED面板200并将OLED面板200搬运至指定位置，如图2所示，在多个吸嘴100吸附过程中，容易在OLED面板200受力位置产生真空压量过大而造成OLED面板200压伤，如图3所示，在OLED面板200放置时由于多个吸嘴100高度不完全统一造成OLED面板200下料时边缘造成破裂(Crack)。如果该移载装置位于设备出料段，则这种异常产品很难及时发现，当异常产品流至下一检测站点被检出时，伴随产生的是一个产品异常批次，从而极大地降低了产品良率，增加了生产成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种移载装置，可以防止在显示面板的搬运过程中对显示面板造成吸附形变。

本发明的目的在于还提供一种移载方法，可以防止在显示面板的搬运过程中对显示面板造成吸附形变。

为实现上述目的，本发明提供了一种移载装置，包括：支撑平台以及设于所述支撑平台上方的移载单元；

所述移载单元包括设于所述支撑平台上方的吸附平台以及分别与所述吸附平台连接的移动平台和至少一条气体管路；所述吸附平台中设有多个气孔；

所述支撑平台用于承载显示面板；

所述气体管路用于对气孔抽真空以吸附显示面板；

所述移动平台用于移动吸附平台以搬运显示面板。

所述吸附平台的材料为多孔陶瓷。

所述气孔的直径大于1um且小于100um。

所述移载单元还包括与气体管路连接的压差计；所述压差计用于侦测吸附平台与显示面板之间的压差。