[发明专利]MEMS麦克风模块

说明书

实施例涉及一种MEMS麦克风模块，具有：MEMS麦克风；连接在MEMS麦克风下游的调制器；和干扰补充电路，该干扰补偿电路设计为，为调制器的输入端加载干扰补偿信号，其针对低频信号干扰，该低频信号干扰处于调制器的输入端处或处于连接在调制器的输入端上游的组件处。

技术领域

实施例涉及一种MEMS麦克风模块。另外的实施例涉及一种用于运行MEMS麦克风模块的方法。一些实施例涉及具有低频干扰抑制的麦克风应用。

背景技术

在MEMS数字麦克风模块中，由例如风或窗户或门砰击引起的压力脉冲可能导致MEMS麦克风的调制器过载。调制器的这种过载或过调制可能导致调制器噪声的增加，这可以表现为MEMS麦克风模块的数字输出信号中的长“可听”的后噪声。

发明内容

实施例提供了一种MEMS麦克风模块，其具有MEMS麦克风，连接在MEMS麦克风下游的调制器，以及干扰补偿电路，其被设计为，为调制器的输入端加载干扰补偿信号，该干扰补偿信号针对低频信号干扰，该低频信号干扰处于调制器的输入端处或处于连接在调制器的输入端上游的组件处。

附图说明

参考附图对本发明的实施例进行详细说明。图中示出：

图1示出了数字MEMS麦克风模块的示意性框图；

图2示出了根据一个实施例的MEMS麦克风模块的示意性框图；

图3示出了根据一个实施例的、具有数字调制器的MEMS麦克风模块的示意性框图；

图4示出了根据另一实施例的、具有数字调制器的MEMS麦克风模块的示意性框图；

图5示出了根据一个实施例的、具有作为调制器的模数转换器的MEMS麦克风模块的示意性框图；

图6示出了根据一个实施例的、具有数字调制器的示例性MEMS麦克风模块的示意性框图；

图7在图表中示出了数字调制器的输出信号相对于频率绘制的曲线，其具有低频信号干扰的激活和去激活的补偿；以及

图8示出了根据一个实施例的、用于运行MEMS麦克风模块的方法的流程图。

具体实施方式

在以下对本发明实施例的描述中，相同或相似的元件在附图中具有相同的附图标记，使得它们的描述是可互换的。

如上面在说明书的引言中已经提到的，压力脉冲可以引起MEMS麦克风的调制器的过载，导致调制器噪声的增加和MEMS麦克风模块的数字输出信号中的长“可听”的后噪声。

在随后参考本发明的图2至7的实施例进行描述之前，将首先参考图1详细解释该效果。

图1示出了数字MEMS麦克风模块100的示意性框图。数字MEMS麦克风模块100可以包括MEMS麦克风102，放大器单元104(例如，源极跟随器，(英语：source follower))，模数转换器(英语：analog-to-digital converter，ADC)106，数字滤波器108和数字调制器110。

MEMS麦克风模块100在过载中的行为由数字调制器110支配，数字调制器可以是1位调制器(在实现为多位架构的情况下，ADC106通常不如调制器那么重要)。在此，问题是调制器噪声的强烈增加。存在一些应用，在这些应用时，MEMS麦克风模块的过载行为是必不可少的。例如，在耳机中的MEMS麦克风可以通过触摸而置于压力脉冲下。由于调制器噪声的增加，该脉冲应仅产生预期的“扑通”干扰噪声并且不会产生“嘶嘶声”。MEMS麦克风模块的过载行为可以通过特殊测试，即所谓的“注射器测试(Syringe Test)”来确定，其中借助于注射器(MEMS麦克风被之置入其中)，通过处于注射器中的空气体积的压缩/减压将压力脉冲施加到MEMS麦克风上。