[发明专利]MEMS麦克风模块有效
| 申请号： | 201910232270.8 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN110312187B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | D·斯特雷尤斯尼格;E·巴赫 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R3/00 | 分类号： | H04R3/00;B81B7/02;H03M1/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 模块 | ||
1.一种MEMS麦克风模块(100)，具有以下特征：
MEMS麦克风(102)，
调制器(110)，所述调制器连接在所述MEMS麦克风(102)下游，和
干扰补偿电路(112)，所述干扰补偿电路被设计为，为所述调制器(110)的输入端加载干扰补偿信号(114)，所述干扰补偿信号针对低频信号干扰，所述低频信号干扰处于所述调制器(110)的输入端处或处于连接在所述调制器的输入端上游的组件(111)处，
其中，所述干扰补偿电路(112)被设计为，从由所述MEMS麦克风提供的麦克风信号的数字版本或从由所述MEMS麦克风提供的麦克风信号的进一步处理的版本导出所述低频信号干扰，
其中，所述干扰补偿电路(112)被设计为，为所述干扰补偿信号(114)提供所述低频信号干扰的反相版本或所述低频信号干扰的进一步处理的版本，使得所述干扰补偿信号(114)针对所述低频信号干扰，所述低频信号干扰处于所述调制器(110)的输入端处或者处于连接在所述调制器(110)的输入端上游的组件处。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风模块(100)，
其中，所述低频信号干扰具有一个幅度，所述幅度大于所述调制器(110)的允许的输入幅度范围。
3.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风模块(100)，
其中，所述低频信号干扰的频率为10Hz或更低。
4.根据权利要求中1或2所述的MEMS麦克风模块(100)，
其中，所述干扰补偿电路(112)直接与所述调制器(110)的输入端连接，
或者，其中，所述干扰补偿电路(112)通过连接在所述调制器(110)的输入端上游的组件(111)与所述调制器(110)的输入端连接。
5.根据权利要求3所述的MEMS麦克风模块(100)，
其中，所述干扰补偿电路(112)直接与所述调制器(110)的输入端连接，
或者，其中，所述干扰补偿电路(112)通过连接在所述调制器(110)的输入端上游的组件(111)与所述调制器(110)的输入端连接。
6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风模块(100)，
其中，所述干扰补偿电路(112)被设计为，对所述低频信号干扰进行估计。
7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风模块(100)，
其中，所述干扰补偿电路(112)被设计为，对所述麦克风信号的所述数字版本进行滤波，以获得所述低频信号干扰。
8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风模块(100)，
其中，所述干扰补偿电路(112)具有低通滤波器(122)或带通滤波器，
其中，所述干扰补偿电路(112)具有第一采样率转换器(124)，所述第一采样率转换器连接在所述低通滤波器(122)或所述带通滤波器的上游；
其中，所述干扰补偿电路(112)具有第二采样率转换器(126)，所述第二采样率转换器连接在所述低通滤波器(122)或所述带通滤波器的下游。
9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风模块(100)，
其中，所述第一采样率转换器(124)被设计为，将所述麦克风信号的所述数字版本的采样率从第一采样率降到第二采样率，
其中，所述第二采样率转换器(126)被设计为，将所述麦克风信号的经滤波的所述数字版本的采样率从所述第二采样率升到所述第一采样率。
10.根据权利要求中1至2中任一项所述的MEMS麦克风模块(100)，
其中，所述调制器(110)是数字调制器，
其中，所述干扰补偿电路(112)被设计为，在所述调制器(110) 的输入端或在连接在所述调制器(110)的输入端上游的组件(111)处拾取所述麦克风信号的数字版本。
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