[发明专利]量子点层的图案化方法、量子点器件及其制备方法有效
申请号: | 201910232123.0 | 申请日: | 2019-03-26 |
公开(公告)号: | CN109904335B | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 何伟;李翔;吴慧利;李士佩;贺芳;顾仁权;徐胜;尹东升;赵雪飞;张立震;黎午升;姚琪 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王晓燕 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 量子 图案 方法 器件 及其 制备 | ||
1.一种量子点层的图案化方法,包括:
形成量子点层,所述量子点层包括量子点和光引发剂;
采用预设波长的光照射所述量子点层的预设部分,使所述预设部分中的所述量子点猝灭,以形成图案化的量子点层,且所述图案化的量子点层保留所述量子点层的除所述预设部分之外的部分中的所述光引发剂,所述量子点为红色量子点、绿色量子点和蓝色量子点中的仅一种,所述预设部分的面积大于除所述预设部分之外的部分的面积,其中,
所述采用预设波长的光照射所述量子点层的预设部分之前包括:调整所述预设波长的光照射所述量子点层的预设部分时的焦平面和焦深,使得在所述量子点层的所述预设部分的厚度方向上所述焦平面位于所述量子点层的所述预设部分的上表面,并且所述焦深为所述量子点层的所述预设部分的厚度的2倍。
2.根据权利要求1所述的量子点层的图案化方法,还包括:
在采用预设波长的光照射所述量子点层的预设部分之前,对所述量子点层进行前烘处理;并且
在采用预设波长的光照射所述量子点层的预设部分之后,对所述量子点层进行后烘处理。
3.根据权利要求2所述的量子点层的图案化方法,其中,所述光引发剂的沸点高于所述后烘处理的温度。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的量子点层的图案化方法,其中,采用预设波长的光照射所述量子点层的预设部分包括:采用掩膜板对所述量子点层进行遮挡,所述掩膜板包括透光区域和遮光区域,所述透光区域对应所述量子点层的所述预设部分,所述遮光区域对应所述量子点层的除所述预设部分之外的部分。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的量子点层的图案化方法,其中,所述预设波长的光为紫外光,所述光引发剂为紫外光引发剂。
6.根据权利要求5所述的量子点层的图案化方法,其中,所述光引发剂的分子式为R1(CO)R2,R1包括苯基、取代苯基、芳香基或者取代芳香基,R2包括烷基或者取代烷基。
7.根据权利要求6所述的量子点层的图案化方法,其中,所述光引发剂包括2,2-二乙氧基苯乙酮、1-羟基环己基苯基甲酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉-1-丙酮、2-二甲氨基-2-苄基-1-[4-(4-吗啉基)苯基]-1-丁酮和2-羟基-2-甲基-1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-1-丙酮中的任意一种。
8.一种量子点器件的制备方法,包括:采用根据权利要求1-7中任一项所述的方法分别形成多个图案化的量子点层,其中,
所述多个图案化的量子点层以堆叠的方式设置,并且
所述多个图案化的量子点层的每个包括非活性部分和活性部分,非活性部分对应于所述预设部分,活性部分对应于所述预设部分之外的部分。
9.根据权利要求8所述的量子点器件的制备方法,其中,
所述多个图案化的量子点层的活性部分分别发出的光的颜色彼此不同;
在所述多个图案化的量子点层的堆叠方向上,所述多个图案化的量子点层的活性部分彼此不重叠。
10.根据权利要求8或9所述的量子点器件的制备方法,还包括:在形成所述多个图案化的量子点层之前,形成彼此间隔开的多个第一电极,其中,
在所述多个图案化的量子点层的堆叠方向上,所述多个图案化的量子点层的活性部分分别与所述多个第一电极重叠。
11.根据权利要求8或9所述的量子点器件的制备方法,还包括:在形成所述多个图案化的量子点层之后,形成第二电极以覆盖所述多个图案化的量子点层。
12.根据权利要求8或9所述的量子点器件的制备方法,其中,
所述预设波长的光为紫外光,所述光引发剂为紫外光引发剂,并且
所述方法还包括:在所述多个图案化的量子点层的至少一侧形成紫外光隔绝层。
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