[发明专利]一种ITO表面特性均一化装置

权利要求书

1.一种ITO表面特性均一化装置，包括真空箱体(1)、送料机构(2)、移动机构(3)与等离子体表面处理机(4)，其特征在于：所述真空箱体(1)内从下往上依次安装有送料机构(2)与移动机构(3)，送料机构(2)上方布置有等离子体表面处理机(4)，等离子体表面处理机(4)安装在移动机构(3)上，且真空箱体(1)左侧开设有进料口，真空箱体(1)右侧开设有出料口；其中：

所述送料机构(2)包括封闭筒(21)、旋转辊(22)、旋转电机(23)、伸缩板(24)、连接架(25)、滑动架(26)、固定架(27)与伸缩架(28)，封闭筒(21)安装在真空箱体(1)内壁上，封闭筒(21)侧壁上沿其周向方向均匀开有方口，相邻方口之间开设有通槽：

-封闭筒(21)内布置有旋转辊(22)，旋转辊(22)通过轴承安装在真空箱体(1)侧壁上，且旋转辊(22)后端通过联轴器与旋转电机(23)输出轴相连接，旋转电机(23)通过电机座安装在真空箱体(1)侧壁上，旋转辊(22)侧壁上沿其周向方向均匀安装有伸缩板(24)，伸缩板(24)位置与方口位置一一对应，伸缩板(24)为上下可伸缩结构，伸缩板(24)侧壁上安装有连接架(25)，连接架(25)上端安装有滑动架(26)，滑动架(26)侧壁通过滑动配合方式与封闭筒(21)内壁相连接，滑动架(26)中部开设有方槽，方槽上端布置有固定架(27)，固定架(27)与滑动架(26)之间连接有伸缩架(28)，伸缩架(28)为上下可伸缩结构，且固定架(27)下端与伸缩板(24)顶端相连接；

所述移动机构(3)包括直线导轨(31)、移动架(32)、横向移动支链(33)与纵向移动支链(34)，直线导轨(31)数量为二，两个直线导轨(31)左右对称安装在真空箱体(1)内壁上，直线导轨(31)下端通过滑动配合方式与移动架(32)侧壁相连接，移动架(32)为U型结构，移动架(32)上开设有横向槽，横向槽内布置有横向移动支链(33)，移动架(32)后端与纵向移动支链(34)侧壁相连接。

2.根据权利要求1所述的一种ITO表面特性均一化装置，其特征在于：所述固定架(27)包括固定板(271)、压紧板(272)、压紧气缸(273)与真空吸盘(274)，固定板(271)安装在伸缩板(24)顶端，固定板(271)中部开设有凹槽，凹槽前后两侧通过滑动配合方式对称安装有压紧板(272)，压紧板(272)外侧与压紧气缸(273)顶端相连接，压紧气缸(273)底端安装在固定板(271)侧壁上，且凹槽侧壁上均匀开设有通气孔，通气孔外侧安装有真空吸盘(274)。

3.根据权利要求1所述的一种ITO表面特性均一化装置，其特征在于：所述横向移动支链(33)包括安装板(331)、横向移动电机(332)、横向旋转架(333)、横向移动板(334)与横向移动块(335)，安装板(331)安装在移动架(32)上，安装板(331)侧壁上通过电机座安装有横向移动电机(332)，横向移动电机(332)输出轴与横向旋转架(333)侧壁相连接，横向旋转架(333)为上下可伸缩结构，横向旋转架(333)上设置有凸柱，横向旋转架(333)前侧布置有横向移动板(334)，横向移动板(334)安装在横向移动块(335)上，横向移动块(335)通过滑动配合方式安装在横向槽内，横向移动块(335)下端安装有等离子体表面处理机(4)。

4.根据权利要求1所述的一种ITO表面特性均一化装置，其特征在于：所述纵向移动支链(34)包括工作板(341)、纵向移动电机(342)、纵向旋转架(343)、纵向移动板(344)与连接辅助板(345)，工作板(341)安装在真空箱体(1)内壁上，工作板(341)侧壁上通过电机座安装有纵向移动电机(342)，纵向移动电机(342)输出轴与纵向旋转架(343)侧壁相连接，纵向旋转架(343)上设置有连接柱，纵向旋转架(343)右侧布置有纵向移动板(344)，纵向移动板(344)安装在连接辅助板(345)上，连接辅助板(345)安装在真空箱体(1)侧壁上。