[发明专利]一种锡球生产工艺、清洗剂及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201910181969.6 申请日: 2019-03-11
公开(公告)号: CN109852977A 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 王溯;方云英;李成克 申请(专利权)人: 上海新阳半导体材料股份有限公司
主分类号: C23G1/06 分类号: C23G1/06;C23G1/10;C23C22/46;C23C22/58
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 薛琦;王卫彬
地址: 201616 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 清洗剂 锡球 生产工艺 制备 质量分数 钝化剂 阴离子型表面活性剂 防变色剂 影响锡球 甘氨酸 缓蚀剂 有机酸 清洗 腐蚀
【权利要求书】:

1.一种锡球生产工艺,其特征在于,其使用清洗剂对锡球进行清洗,其中所述的清洗剂包括下列质量分数的组分:20%-50%的有机酸、1%-2%的防变色剂、1%-3%的缓蚀剂、0.1%-1%的钝化剂、1%-2%的阴离子型表面活性剂、和水,各组分质量分数之和为100%;所述钝化剂为甘氨酸。

2.如权利要求1所述的锡球生产工艺,其特征在于,其中所述的清洗剂中所述的有机酸的质量分数为25%-40%,较佳地为30%-35%;

和/或,所述的防变色剂的质量分数为1.3%-1.7%,较佳地为1.5%-1.6%;

和/或,所述的缓蚀剂的质量分数为1.5%-2.5%,较佳地为1.7%-2%;

和/或,所述的钝化剂的质量分数为0.2%-0.5%,较佳地为0.3%-0.4%;

和/或,所述的阴离子型表面活性剂的质量分数为1.2%-1.7%,较佳地为1.4%-1.5%。

3.如权利要求1所述的锡球生产工艺,其特征在于,其中所述的清洗剂中所述的有机酸为二元羧酸和/或三元羧酸,较佳地为柠檬酸、草酸、己二酸、马来酸、苹果酸、衣康酸、丙二酸、乙二酸和酒石酸中的一种或多种;

和/或,所述防变色剂为硫醇类化合物,较佳地为丙硫醇、4-甲基-4H-1,2,4-三唑-3-硫醇和5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇中的一种或多种;

和/或,所述的缓蚀剂为苯酚类化合物、苯甲酸类化合物和羟肟酸类化合物中的一种或多种;

和/或,所述的阴离子型表面活性剂为磺酸盐类化合物,较佳地为十二烷基苯磺酸钠、棕榈酸甲酯磺酸钠和十二烷基磺酸钠中的一种或多种;

和/或,所述的水为去离子水、蒸馏水、纯水和超纯水中的一种或多种。

4.如权利要求3所述的锡球生产工艺,其特征在于,其中所述的清洗剂中所述的苯酚类化合物为对苯二酚、邻苯二酚和儿茶酚中的一种或多种;

和/或,所述的苯甲酸类化合物为苯甲酸和/或没食子酸;

和/或,所述的羟肟酸类化合物为苯甲羟肟酸。

5.如权利要求1-4任一项所述的锡球生产工艺,其特征在于,其中所述的清洗剂由下列质量分数的组分组成:20%-50%的有机酸、1%-2%的防变色剂、1%-3%的缓蚀剂、0.1%-1%的钝化剂、1%-2%的阴离子型表面活性剂和水组成,各组分质量分数之和为100%;所述钝化剂为甘氨酸。

6.如权利要求1-4任一项所述的锡球生产工艺,其特征在于,其中所述的清洗剂由下列质量分数的组分组成:25%-40%的有机酸、1.3%-1.7%的防变色剂、1.5%-2.5%的缓蚀剂、0.2%-0.5%的钝化剂、1.2%-1.7%的阴离子型表面活性剂和水组成,各组分质量分数之和为100%;所述钝化剂为甘氨酸。

7.如权利要求1-4任一项所述的锡球生产工艺,其特征在于,其中所述的清洗剂由下列质量分数的组分组成:30%-35%的有机酸、1.5%-1.6%的防变色剂、1.7%-2%的缓蚀剂、0.3%-0.4%的钝化剂、1.4%-1.5%的阴离子型表面活性剂和水组成,各组分质量分数之和为100%;所述钝化剂为甘氨酸。

8.如权利要求1所述的锡球生产工艺,其特征在于,所述的使用清洗剂对锡球进行清洗的操作包括下列步骤:将锡球与所述的清洗剂经溢流循环清洗、干燥即可;

所述的锡球的直径优选为0.5mm、10mm、15mm或20mm;

所述的溢流循环清洗优选在清洗槽中进行;

所述的溢流循环清洗的溢流速度优选为1-3m3/min;

所述的溢流循环清洗的时间优选为1-2h;

所述的溢流循环清洗的温度优选为10-30℃;

所述的干燥的方法优选为用氮气吹干。

9.一种清洗剂,其特征在于,其各组分和含量如权利要求1-8任一项所述锡球生产工艺中的所述清洗剂的组分和用量。

10.一种如权利要求9所述的清洗剂的制备方法,其特征在于,其包括下列步骤:将所述的清洗剂的各组分混合,即可。

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