[发明专利]检查装置、检查系统以及检查方法

说明书

一种检查装置、检查系统以及检查方法，提供能够迅速地实施针对检查对象的多个项目的检查。检查装置的特征在于，具备：分光摄像部，将来自检查对象的预定的拍摄范围的光分光为多个波长的光，并拍摄各波长的分光图像；形状检查部，使用各波长的所述分光图像中预定波长的分光图像来检查所述检查对象的形状；以及颜色检查部，使用各波长的所述分光图像来检查所述检查对象的颜色。

技术领域

本发明涉及检查装置、检查系统以及检查方法。

背景技术

以往，已知以制造物品为检查对象的检查装置(例如参照专利文献1、2)。

专利文献1所记载的检查装置使来自照明部的光经过将多个图案滤波器重合后的滤波器并照射到检查对象，并用摄像部(RGB相机)拍摄被检查对象反射后的光。然后，对拍摄图像实施RGB各色的滤波处理、频率滤波处理，根据得到的图像判断凹凸的有无。

专利文献2所记载的检查装置利用分光相机拍摄检查对象的分光图像，测量每一个像素的颜色的波长。然后，将各像素的波长转换为波长测量值，检测检查对象的颜色不匀。

专利文献1：日本特开2011-226814号公报

专利文献2：日本特开2003-215053号公报

根据检查对象的不同，需要实施存在于检查对象表面的凹凸的有无和检查对象的颜色不匀这两者的检查。以往，在这种情况下，分别用不同的工序实施如专利文献1那样的使用了基于RGB相机的拍摄图像的检查对象的凹凸的检查工序和如专利文献2那样的使用了基于分光相机的分光测定的结果的制造物的颜色的检查工序。即，被照射了在凹凸的检查中使用的图案光的检查对象的拍摄图像和用于颜色的检查的分光图像分别成为不同的图像。因此，需要分别通过不同的工序取得用于各检查的图像，存在制造的工序数增多的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供能够迅速地实施针对检查对象的多个项目的检查的检查装置、检查系统、检查方法。

本发明的一应用例的检查装置的特征在于，具备：分光摄像部，将来自检查对象的预定的拍摄范围的光分光为多个波长的光，并拍摄各波长的分光图像；形状检查部，使用各波长的所述分光图像中预定波长的分光图像来检查所述检查对象的形状；以及颜色检查部，使用各波长的所述分光图像来检查所述检查对象的颜色。

在此，本发明的检查对象除了以通过自发光来发出光的构件(显示面板等)为对象以外，还以在检查对象的背面设置光源并使来自光源的光透射的构件(膜等)，即以无需从分光摄像部侧照射照明光的构件为对象。

在本应用例中，分光摄像部将来自检查对象的光分光为多个波长(分光波长)并分别拍摄针对各分光波长的分光图像，并使用该拍摄到的分光图像中的任意一个分光图像来实施由形状检查部进行的检查对象的形状检查。另外，使用拍摄到的多个分光图像来实施由颜色检查部进行的检查对象的颜色检查。

即，在本应用例中，通过对通过自发光来产生光的检查对象或者对透射来自背面的光的检查对象的分光图像进行拍摄，从而在检查对象的表面有损伤或异物附着等异常的情况下，由于该异常部分的光的散射，所以光量发生变化。因而，形状检查部能够基于拍摄到的分光图像中的任意一个分光图像容易地进行形状检查，而不用对检查对象照射条纹图案等特定图案的照明光。另外，能够得到针对多个分光波长的分光图像，因此颜色检查部能够根据这些分光图像求出检查对象的各位置的分光光谱，能够实施高精度的颜色测定(颜色检查)。

这样，在本应用例中，使用由分光摄像部拍摄到的分光图像来实施由形状检查部进行的形状检查以及由颜色检查部进行的颜色检查这两者。因而，无需分别通过不同的工序取得用于进行形状检查的图像和用于进行颜色检查的图像，能够削减检查的工序数。